深化洁净与半导体融合 河南洁净协会赴东微电子共谋产业协同发展

4月14日，河南省洁净技术协会副秘书长、国家室内车内环境及环保产品质量检验检测中心河南办事处秘书长、环境健康产业智汇服务平台执行主任李春浩一行到访河南东微电子材料有限公司（简称“东微电子”）。东微电子副总裁郭金坡及研发中心项目负责人热情接待并举行座谈。双方围绕“暖通洁净技术赋能半导体产业创新发展”主题，就深化产学研用协同、提升先进制造环境保障能力等议题达成广泛共识。河南省洁净技术协会战略发展咨询委员会主任、山东爱德净化工程股份有限公司CEO王世均，河南省洁净技术协会人居环境专业委员会副主任、郑州市建筑业协会机电专业委员会副会长、天阔智慧环境工程有限公司董事长李永生陪同参访。

东微电子成立于2018年，总部位于郑州航空港区，是河南省首家生产半导体芯片核心材料的企业，业务涵盖半导体核心材料、半导体设备、核心零部件三大板块，生产销售的溅射靶材、反应腔体、直排电机、炉管设备等产品，已供应中芯国际、台积电、格罗方德、长鑫存储等国内外知名芯片企业。作为国家级专精特新重点“小巨人”企业和“中国潜在独角兽”企业，东微电子致力于成为高端集成电路制造用材料和设备零部件一站式服务平台，为中国半导体解决“卡脖子”难题。公司自主研发的钌靶材能满足集成电路3至5nm核心工艺的要求，技术处于国内领先水平，成功打破国外技术壁垒；光刻机用直线电机、光源等关键零部件已正式通过中芯国际和长鑫存储严格认证。近年来，公司业绩高速增长，2025年总营收超15亿元，并斥资8亿元在香港建设全港首个半导体设备研发及生产基地，加速国际化战略布局。

座谈会上，李春浩秘书长重点介绍了协会、国家质检中心及智汇服务平台在新版洁净环境控制标准、检验检测认证及微污染治理领域的专业技术优势。他强调，面对半导体制造对空气洁净度与工艺稳定性日趋严苛的要求，双方合作将从标准引领、检测验证到过程管控，为芯片研发与量产构建全链条质量保障体系。

郭金坡副总裁详细阐述了东微电子作为国家级专精特新“小巨人”企业的战略布局。他表示，随着公司核心材料、设备及零部件业务进入规模化扩产阶段，高等级洁净厂房环境控制、暖通系统效能优化及第三方权威检测的需求愈发迫切。他期待以此次交流为契机，引入协会与国家质检中心的专业资源，为东微电子研发生产基地的高标准运营保驾护航。

双方一致指出，暖通洁净技术已从基础设施保障演变为影响芯片良率与绿色制造的核心工艺环节。未来，合作将聚焦于暖通洁净系统优化、行业标准共建、专项检测认证服务、高端技术人才培育及政产学研用协同创新五个维度，推动洁净技术深度嵌入半导体产业链。

此次会晤标志着河南省洁净行业与半导体产业的联动从单一的技术对接迈向系统性协同创新，为双方后续实质性合作奠定了坚实基础。