北京
国家知识产权局信息显示，江西维易科半导体科技有限公司申请一项名为“一种基于多参数反馈的匀胶动态控制方法及系统”的专利，公开号CN121857407A，申请日期为2025年11月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基于多参数反馈的匀胶动态控制方法及系统，该方法包括：通过膜厚测量单元采集晶圆表面的胶液的厚度分布数据，并同步采集带动晶圆旋转的伺服电机的实际扭矩信号；通过预设扭矩‑粘度关联模型将实际扭矩信号转换成与胶液对应的实际表观粘度，并基于预设规则根据厚度分布数据以及实际表观粘度预测出晶圆表面的膜厚在未来预设时间内的演变趋势；根据演变趋势获取对应的预测膜厚分布，并将预测膜厚分布与目标膜厚分布进行比较，以采集对应的比较结果；根据比较结果生成对应的转速调整指令，通过转速调整指令动态控制伺服电机的转速，以使胶液均匀分布在晶圆的表面。本发明能够有效提升涂胶精度，对应提升了生产效率。
天眼查资料显示，江西维易科半导体科技有限公司，成立于2022年，位于上饶市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，江西维易科半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息32条，此外企业还拥有行政许可5个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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