国家知识产权局信息显示,上海稷以科技有限公司申请一项名为“氮化钛薄膜生长方法及生长机台”的专利,公开号CN121407050A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明提出了一种氮化钛薄膜生长方法及生长机台,该生长方法包括:步骤S1、在晶圆的表面沉积设定厚度H0的氮化钛薄膜后,之后进行除杂修复;步骤S2、重复步骤S1,至氮化钛薄膜的沉积厚度为厚度H;H>H0。本发明使得生长的氮化钛薄膜杂质较少,且体电阻降低。
天眼查资料显示,上海稷以科技有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本475.5886万人民币。通过天眼查大数据分析,上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目90次,财产线索方面有商标信息36条,专利信息151条,此外企业还拥有行政许可19个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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