国家知识产权局信息显示,新毅东(北京)科技有限公司取得一项名为“一种光罩对准装置”的专利,授权公告号CN223842307U,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请提供一种光罩对准装置,涉及光刻机技术领域,包括支撑台、光罩对准组件和调节杆,光罩对准组件包括设置于支撑台的固定镜架、移动镜架以及图像接收器,图像接收器用于接收来自光罩的光线,固定镜架和图像接收器位于光线形成的光路中。在固定镜架上开设有第一通孔,在移动镜架上开设有第二通孔和第三通孔。调节杆可拆卸的穿设在第一通孔与第二通孔中或者第一通孔与第三通孔中以使第二通孔和第三通孔可替换的位于光路中,当调节杆被拆卸后,第一通孔、第二通孔和第三通孔内安装有用于调制光线的镜头组件。通过调节杆的设计可以保证光线调制的高精度,避免平台位移过程中可能出现的误差,从而大幅提升光刻机系统的性能与稳定性。
天眼查资料显示,新毅东(北京)科技有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本15000万人民币。通过天眼查大数据分析,新毅东(北京)科技有限公司共对外投资了13家企业,参与招投标项目85次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息157条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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