别信“一夜超车”!从1988到2025,1400台ASML进了中国,产能翻倍也翻车?一个“拆机”教训,值好几亿!
你以为装上大炮就能跑赢F1?10月里,有媒体曝出某芯片厂技术员把一台DUV光刻机“开膛破肚”想学门手艺,结果镜片变形、激光源罢工,整条线停了几周,亏进好几亿。最后还是把ASML工程师请来,检查后一句话扎心:不是设备坏,是装不回去。
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同一时间,朋友圈在刷“DUV也能做5纳米”的热搜。你仔细品,这两件事放一起,味道就出来了。
先说大尺度。ASML高层在2023年末的公开场合提到:自1988年第一台光刻机抵达中国大陆,到2023年底,累计装机约1400台(含计量设备)。这个数字,够不够炸裂?
放在地图上看,更直观。中芯国际、长江存储等大厂里,DUV是主力,撑起了7纳米以上的大部分产能;没错,EUV一台都没进来。但别小看DUV,它是当下中国晶圆厂的“扛把子”。
这条路不是一天修成的。80年代末拿到第一台步进机时,国内厂还是“全套进口”。90年代,华虹等企业引进干式光刻机,把8英寸线堆起来,产量摸到百万片量级。
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真正起跑在线。2000年后政策加码,中芯国际2000年建厂,五年里就占了国内一半以上的生产线规模,成为ASML在华的大客户。2010年代需求爆表,中国成了全球最大芯片消费国,份额过半。
关键一脚在2014年。国家大基金首期投出约1200亿元,2016年长江存储项目启动,3D NAND专线上马,一口气买下多台浸没式DUV,年产值很快上百亿。你要的“产业级Buff”,这波就叠上去了。
2018到2020年,全球供应链打摆子,中国厂商选择“多囤一点,心里不慌”。ASML每年往中国送上百台,京沪汉等地密集建厂,抱团成了集群。2021年,中芯国际用NXT:1980i这类机型批量开车,单日产能以“几百片”计。
但这行的天花板,是管制。2022年起,美国明确对EUV说“不”,DUV还留了缝。2023年,荷兰对华光刻机出口数量同比涨了64.8%,金额过百亿,基本都砸在成熟制程扩产上;长江存储新厂装了几十台,产能直接翻倍。
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想象中的“封死”并没发生。ASML披露,2024年中国营收占比达到约36.1%,北京还要建更大的维修中心,本地员工超过1600人,仓储物流同步扩容。打工人最关心的“能不能修、修得快不快”,这块在补课。
然而,真正的挑战才刚刚开始。EUV禁了,2023年10月美国又追加限制,AI芯片和更多制造设备被列管,2024年荷兰新规生效,NXT:2050i、2100i等型号对华出口收紧;有的原本批下来的许可被撤,ASML在2024年1月也证实这会影响中国个别客户。
更让人意想不到的是,2024年末美国继续升级,部分DUV对特定厂商说“再见”。荷兰政府在2025年1月还决定不再公开ASML对华销售的细分数据,敏感度拉满。
那中国怎么应对?一个字:挤。不是挤牙膏,是把DUV的潜力“挤干”。多重曝光、SAQP(四重图形化)这些“叠罗汉”的工艺,被用到极致;报告显示,合肥长鑫靠这套组合拳把DRAM产能做上了全球约10%的份额。
说白了,DUV像台顶级单反,多拍几次、叠出更细的图案,能苟住,但成本和难度肉眼可见地涨。每多一次曝光,就像跑步多绕一圈,累不累你心里没点数?
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另一边,本土设备的追赶也在加速,但短板同样明显。比如有消息称,2023年某90纳米原型机测试精度还没达标,短期顶不上生产线;SMEE近年主攻后端封装光刻,前端晶圆制造与ASML差距仍在追。AMIES在2025年亮相复合半导体光刻机、激光退火系统等,封装光刻机做到全球约35%、中国约90%的份额,这一步是“边路穿插”,很关键。
工艺侧的创新也在绕路。北方华创等在光刻系统上加码,华为申请了不少与SAQP相关的专利,目标是绕开EUV,把5纳米尝试着用DUV“啃”出来。能不能大规模、可持续?良率和成本是两道门槛,现在还不好下定论。
回到那个“拆机”的故事。全球多家媒体的报道里,这类“拆了装不回去”的案例不是没有,但基本无一成功复制核心技术。光刻机是“相机+工厂+物理实验室”的合体,镜头材料、光源稳定、控制算法,每一项都是千分之一的精度游戏,差一丝就是“黑屏”。
这就解释了为什么1400台设备,是双刃剑。一面是中国的基本盘稳住了:2023年自给率约30%,有望在2025年冲到40%;亚洲市场的芯片出口份额从约15%升到约25%,手机、汽车、工业芯片的“成熟节点”开花结果。
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另一面,是“会拆不会装”的尴尬时刻敲响了警钟:超车不是淘宝下单、拧螺丝就行,核心技术没有捷径,逆向工程更是高风险、低成功率的“费力不讨好”。这不是面子问题,是规律问题。
再看ASML那头。CEO在2025年4月释放了一个冷知识:今年对华销售占比预计仍超25%,但2026年会明显回落,前两年的“补库存高峰”过去了,需求从AI高端往成熟节点回流。一句话,大家都要过日子。
你可能会问:那我们到底到了哪一步?直说了吧——DUV时代的中国制造,已经站稳,规模在全球约三分之一;高端制程的那扇门,还没真正打开,保守看还要“打磨”多年。
但别被悲观带节奏。过去7年,我们把产线堆起来、把工程师训练起来、把维修能力提起来,停机时间在肉眼可见地往下掉。紫光展锐等厂商扩手机芯片产能,能用的设备先用上,竞争力先守住,这是实战派的选择。
国际层面呢?半导体是全球化程度极高的行业,任何一方的“限”,都会带来链条两头的“痛”。美国的管制让对手受挫,也让自家和盟友的企业失单,荷兰对数据“降透明”,就是这种敏感博弈的注脚。
最后留一句给每个打工人。光刻这事,像攀岩——借别人挂好的“保护点”能上去一截,但想摸到顶,必须自己打点、自己留钉。1400台机器是“腰带”,不是“终点线”。一步一步、耐心打磨、把原创做厚,超车才不是一场“拆机秀”。
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