中国研发EUV光刻机，绕不过的坎：光学镜头，也被称“上帝之眼”

一台EUV光刻机，有几十万个零件，但总的来讲，主要还是由三大核心部件组成，一是光源，二是物镜系统，三是工作台。

而其它非EUV光刻机，也差不多，主要也是由这三部分组成的。

说真的，在这三部分之中，有一个部分，可能被很多人忽略了，特别是国内的网友们，忽略的较多。

那就是光学镜头，不信大家看看相关信息，更多的都是在讲EUV光源，又是这个技术，那个突破的，都说我们有了更好的解决方案，不用ASML的那种锡珠产生EUV光源方式等。

但事实上，在光学镜头这里，我们还差的还相当远。

目前EUV光刻机里面，光学镜头只有一家供应商，那就是蔡司，全球只有他一家能够制造出EUV光刻机使用的镜头。

他造的镜头有多夸张？网上流传一句话：“如果把镜头放大到一个地球那么大，它上面只允许有一根头发丝那样的凸起”，这个技术，全球只有它能够达到。

也正因为蔡司有这么牛，所以早在10年前，ASML就觉得自己必须把蔡司拉上自己的战车，并且双方利益必须一致，才能确保自己地位，所以ASML花了10亿欧元，收购了蔡司半导体约25%的股权，并不断的投资，双方成了利益共同体，蔡司的EUV使用的光学镜头，不对外供应，全球仅供给ASML。

并且不仅是在EUV光刻机上，ASML的几乎所有的光刻机中，都使用的是蔡司的镜头，不仅如此，日本的尼康、佳能的一些先进一点的光刻机上，使用的也都是蔡司的镜头。

按照机构的说法，目前全球90%的芯片制造，都依赖于蔡司提供的光学镜头，越是先进的芯片，越依赖蔡司的镜头，所以大家也都称蔡司的镜头，是光刻机中的“上帝之眼”，如果你的芯片没有被上帝之眼凝视，那肯定说明你的芯片就不够先进。

所以，如果我们要研发出EUV，自己搞定EUV光源只是其一，还要搞定光学镜头。

目前国内的光学镜头技术，落后蔡司其实是非常远的，不管是在制造工艺，还是精度、平整度等上面，并且离蔡司的差距，是多方面、多维度的，根本就不在一个水平线上，从代数来看，可能是好多代的差别。

虽然这几年， 国内在光学镜头方面也涌现出了一大堆的企业，大家不断的突破，但更多的还是应用在手机、摄像头镜头等上面，这些相对简单多了，至于用于光刻机上面的这种光学器件，几乎就没有。

所以啊，光学镜头，在我们研发EUV光刻机中同样重要，别只盯着EUV光源了，如果不搞定光学镜头，也是制造不出EUV光刻机来的。甚至按照一些专业人士的说法，其实目前我们连浸润式光刻机的光学镜头，都搞不定呢，更别说EUV了。