说起光刻机这玩意儿,就跟芯片制造的命根子差不多,谁掌握了它,谁就能在半导体链条上多占几分便宜。2024年9月前后,美荷两国几乎踩着点儿,一前一后放出狠话,直接点名中国自主搞的光刻技术有问题。
荷兰那边先动手,9月7日政府宣布扩大深紫外光刻机对华出口许可范围,把ASML的NXT:1970Ci和NXT:1980Di型号都拉进审查清单,这等于变相卡住了中低端设备的流通。
美国商务部也没闲着,几乎同时跟进,更新出口管制条例,把半导体制造设备的集成部件列为重点监控对象,还强调这些限制针对中国企业的独立研发项目。两国官员在各自的发布会和报告里,直言不讳,说中国光刻机涉嫌逆向工程,侵犯知识产权,威胁全球供应链安全。
荷兰经济事务部长在声明中点到为止,但ASML前CEO彼得·温宁克就没那么含蓄,他公开抱怨美国压力太大,导致公司丢了中国市场大头,欧洲自家供应链都开始裂开缝。美方智库报告更狠,列出一堆案例,硬说中国设备的参数跟现有产品太像,暗示这是抄袭来的。
这波操作不是头一回了,早从2023年3月荷兰禁止先进设备出口中国开始,美荷就联手升级管制,10月美国又扩展到软件和技术服务。
2024年4月维修禁令落地,2025年1月荷兰首相在议会重申跟美国步调一致,4月1日新措施生效。说白了,这不是单纯的技术争端,而是大国博弈的缩影,美荷想守住技术高地,不让中国轻易爬上来。
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垄断壁垒摇晃:美荷为啥咽不下这口气
光刻机市场,本来就是ASML一家独大,荷兰这家公司占了全球九成份额,高端EUV设备更是他们专利堆出来的金饭碗。中国以前买设备得看荷兰政府脸色,高端货根本轮不到咱们。
现在情况变了味儿,中国本土企业开始憋大招,上海微电子装备集团(SMEE)在2023年底就把28纳米深紫外光刻机推出来,2025年5月正式交付首台浸没式型号,国产化率超70%。这可不是小打小闹,28纳米工艺全球主流,能批量产芯片,填补了国内高端制造的空白。
哈工大团队也在极紫外光源上发力,2025年上半年测试数据出来,曝光系统精度逼近国际水平。产业链上下游跟上节奏,光刻胶、主轴、镜头这些核心部件,民营企业和高校实验室齐上阵,新凯来、宇量昇科技这些新玩家冒头,专攻EUV预研,目标直指2026年量产。
美荷那边坐不住了,因为中国市场体量大,2024年中国光刻机产量翻番,2025年上半年国产率爬到5%以上,ASML对中国销售占比从高峰的40%滑到20%。温宁克在2024年1月2日报告里直言,荷兰政府部分撤销出口许可后,公司shipment直接取消,损失上亿欧元。
美国智库更直球,2024年2月报告分析,荷兰堵EUV出口能短期延缓中国,但长远看只会逼中国自立,产业链重构速度超预期。美荷的批评听起来冠冕堂皇,实际就是护着自家饭碗,知识产权纠纷他们提得欢,但忽略了全球专利体系本该促进创新,不是用来筑墙的。
2025年10月16日ASML展望发布,中国销售继续下滑,他们内部承认,AI芯片需求旺盛,但管制让欧洲供应商跟着遭殃。说到底,美荷这套组合拳,表面上针对中国,骨子里是怕全球格局洗牌,技术主导权旁落。
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自研路上的硬骨头:中国光刻机怎么啃下来的
中国光刻机起步晚,但后劲足,从90纳米干涉式到28纳米浸没式,一步步爬坡靠的是实打实的投入。上海微电子600系列早在2010年代就量产90纳米,2025年9月24日中国国际工业博览会上,他们首秀EUV参数图,核心部件如光源和光学系统全自主,填补了从材料到集成的闭环。
国家大基金二期砸钱,地方专项资金跟进,2024年工信部公布技术推广目录,鼓励全产业链接力。民营企业不甘落后,宇量昇科技2025年与中芯国际合作测试,电子束光刻路线走得稳,纳米压印技术也并行推进。
高校力量不能少,哈尔滨工业大学在2025年3月在实验室验证极紫外光束稳定性,数据支持下,曝光精度误差控制在纳米级。产业链盘活后,配套企业雨后春笋,2025年新设半导体设备公司数量涨30%,研发投入节节高。
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面对美荷封锁,中国不光守,还主动出击,开拓东南亚和拉美市场,分散风险。2025年4月14日,南华早报报道,荷兰对华出口暴跌,但中国企业清库存后,转向自主替代,ASML的DUV机型虽贵,但国产货性价比高,晶圆厂反馈良率达标。
美荷批评逆向工程,这话听着刺耳,但中国企业强调,所有进展基于公开专利和基础研究,2024年9月9日工信部回应,科技创新不应被单边限制。实际数据摆那儿,SMEE的28纳米机2025年8月在无锡出厂,进入验证,覆盖60%高端需求。
中微半导体也沾光,2025年排名全球第四,薄膜沉积设备迭代快。说白了就是咬牙顶住压力,政策资金人才三管齐下,砸出条自主路。美荷管制越严,中国动力越足,2025年上半年国产EUV预研加速,华为中芯联合3纳米线导入200台国产设备,浸没式加多重曝光技术逐步本土化。
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美荷的联合施压,看似铁板一块,实际露了马脚。中国客户提前囤货,DUV系统销量虽降,EUV禁令让公司整体收入承压。说实话,这波操作让全球科技治理更乱,中国推动标准制定,提升竞争力。管制像把双刃剑,短期疼,长期逼出新路。
中国半导体路走得实诚,不靠捷径,靠一步步积累。未来博弈,中国有底气,市场是裁判,坚持创新,高端制造中国名字会多起来。美荷批评像过眼云烟,技术赛道上,谁跑得稳谁赢。
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