复购+投产！上海匠岭科技打响国产高端量测突围战

在半导体制造设备体系中，量检测设备是确保芯片良率与性能的核心支撑，被誉为“制程之眼”。其应用贯穿晶圆制造到封装测试的关键环节，从纳米级缺陷检测到关键尺寸量测，直接决定了芯片的成品率与可靠性。

伴随着新进逻辑制程的持续突破、3D NAND与3D封装的扩产需求，以及AI芯片堆叠封装等复杂结构带来的检测挑战等，量检测设备需求迎来了爆发式增长，机构报告指出，2024年全球半导体设备出货额已达到1171亿美元，同比增长10%。

在这一背景下，国内量检测设备厂商匠岭科技以自主创新为突破口，在高精度检测、三维量测及AI驱动的智能算法方向不断取得进展，正成为打破垄断格局、推动本土半导体装备产业高质量发展的重要力量。

多维度破解“卡脖子”难题

相比国际巨头，目前国产量检测设备厂商虽已在部分环节实现替代，但在新进工艺方向仍有待突破。正是在这一关键节点上，匠岭科技凭借深厚的量检测系统研发实力，正加速打破技术壁垒，构筑有国际竞争力的高端检测装备体系。

目前，匠岭科技已深度布局半导体前道、先进封装、化合物半导体和新型显示等战略新兴领域，产品矩阵涵盖TFT系列薄膜量测、OM系列关键尺寸量测、HIMA系列微凸块3D量测、VISUS系列表面缺陷检测、ANDES系列有图形缺陷检测、ALPS系列无图形缺陷检测、ROCKY系列新型量测设备等，并相继完成了十余种量检测机型的产业化导入和批量化验证。

值得关注的是，在前道工艺控制中，关键薄膜量测（Critical Thin Film Thickness）和光学关键尺寸量测（Optical Critical Dimension）具有极高的系统性技术门槛。

而匠岭科技通过持续的技术积累和扎实的客户实践，核心产品关键薄膜量测机台和光学关键尺寸量测机台，已能够支撑本土晶圆厂新进工艺的稳定量产，切实补齐了本土逻辑与存储芯片制造上的供应链短板，显著提升了本土半导体产业链在关键量测环节的自主可控能力。

一方面，匠岭科技TFT系列关键薄膜量测机台采用业内独有的高精度光学系统和光谱分析算法，已率先解决了新进工艺中的金属互连层（强相关性叠层超薄膜）量测和栅极氧化层（超薄单层膜）量测的国际性难题。

另一方面，匠岭科技OM系列光学关键尺寸量测机台采用独有的多系统光谱通道，结合高度系统整合的RCWA物理引擎，率先解决了新进工艺中的多变量三维结构量测的国产化痛点。

不止如此，目前匠岭科技的产品已经进入多家国内外重要客户产线。

在先进封装领域，匠岭科技HIMA15机型已经广泛应用于国内外先进封测厂，满足直径20μm以上的Bump 3D量测的量产需求。针对直径20μm以下Bump 3D量测的新机型HIMA10已开始为客户提供验证，该款机型将覆盖未来5年内的高级先进封装产线的量产需求，应用领域包含2.5D/3D异构封装(Chiplet)等。

从产业趋势看，3D封装作为AI芯片的核心配套，市场需求呈爆发式增长，其TSV硅通孔、微凸块等关键结构对3D量测设备提出了极高要求。匠岭科技的HIMA系列产品精准卡位这一赛道，不仅满足了当前量产需求，更通过HIMA10和HIMA05等新机型的前瞻布局，为未来更高密度、更小尺寸的先进封装技术演进做好了准备。这种对市场趋势的精准把握和技术路线的前瞻布局，展现了公司的战略眼光和技术储备深度。

而在化合物半导体领域，匠岭科技推出的ANDES系列有图形缺陷检测机台已经通过龙头客户的认证并获得正式订单，在该领域实现了量产级检测的国产化突破。随着碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等第三代半导体材料在新能源汽车、5G通信、光伏储能等领域的广泛应用，无损检测成为市场新需求，匠岭科技的光学化、高速化检测方案正好契合了产业升级需求。

这种横向联动、纵深拓展的战略布局，使匠岭科技不仅在高端量检测设备上填补了国产替代的空白，更在先进封装、化合物半导体等高增长赛道提前卡位，形成了多点开花、风险分散的业务格局，为公司长期可持续发展奠定了坚实基础。

里程碑突破：复购交付与产能跃升

在国产量检测设备持续攻坚突破的关键阶段，上海匠岭科技再传捷报——实现“技术复购”与“产能扩张”两项里程碑式进展：一方面，成功向上海某龙头晶圆厂客户交付复购的TFT70 SuperHiK®高端薄膜量测设备，并同步发布AiMET人工智能量测系统；另一方面，位于浙江桐乡的匠岭二期生产基地正式建成投产，标志着公司在研发创新与制造能力上双双迈入新阶段。

据了解，此次交付的TFT70是匠岭科技TFT系列的旗舰机型，采用业内领先的SuperHiK®量测技术，特别针对栅极超高k材料层（纳米超薄单层膜）、金属互连层（强相关性叠层纳米超薄膜）和超薄介质层等最具挑战的关键膜层提供精准量测。截至目前，TFT70已批量交付多家逻辑和存储客户，并获得复购和量产线批量交付。

从产业角度看，复购订单的意义远超单次采购。在半导体设备领域，客户的复购行为往往意味着设备已通过长期验证，在性能稳定性、工艺适配度、售后服务等多维度获得认可。龙头晶圆厂对设备供应商的选择极为审慎，复购本身就是对技术实力和产品可靠性的最佳背书，标志着匠岭科技的产品已真正进入本土晶圆厂的核心产线，实现了从"试用验证"到"批量应用"的关键跨越。

此次交付的另一亮点，是AiMET人工智能量测系统的惊艳亮相。AiMET系统采用物理化自监督自适应规模神经网络架构，结合高可靠性并行计算，实现从数据采集到分析的全链路AI赋能。其核心能力包括:自主研发的AI算法加速推理，单片晶圆分析速度提升20倍以上;一键生成最优化量测方案，由AI智能创建复杂膜层结构的量测Recipe，数倍提升工程效率;AI智能进化算法显著提高复杂膜厚量测的精准度，并消除操作性差异，实现模型构建和材料系统系数的一致性。

这一系统已在第八届国际先进光刻技术研讨会(IWAPS 2025)上进行技术报告，标志着本土企业在高端量测AI领域实现了关键性技术突破。在新进制程节点，工艺复杂度呈指数级上升，传统量测方法面临效率瓶颈，AI技术的深度融合成为破解难题的关键路径。匠岭科技以“AI-Enhanced Metrology”为发展路径，精准契合行业智能化趋势，在全球高端量测市场中占据了独特而关键的地位。

与此同时，匠岭科技的产业化布局也迎来新进展。公司位于浙江桐乡的二期生产基地现已正式建成投产，总面积达5,000平方米，其中包含3,000平方米高等级无尘生产线与零部件仓储中心。新基地的落成显著提升了整体产能与交付效率，年设备出货能力突破200台，为公司持续增长注入强劲动能。

这一布局充分体现了匠岭科技“上海研发—长三角制造—全球服务”的战略思维。依托上海临港总部与张江研发中心，形成从“研发—工程化—量产”的快速转化机制，同时联动海外客户服务网点，实现本土制造与全球交付的协同发展。二期基地坐落于桐乡经济开发区视觉物联创新中心，地处长三角核心枢纽地带，为公司进一步整合区域上下游资源、打造协同生态提供了有利条件。

以产业链协同的方向来看，产能扩张不仅满足了大规模并行量产的迫切需求，也有效缩短了客户交付周期，为本土晶圆厂的扩产提供了更强的设备供应保障。在全球半导体供应链重构的背景下，国产设备厂商的产能提升已成为保障产业安全与竞争力提升的关键支点。

国产替代进入“深水区”

匠岭科技的技术突破和市场拓展，折射出本土半导体设备产业正在经历的深刻变革。

过去，国产半导体设备往往被贴上“低端替代”的标签，主要应用于成熟制程节点。但匠岭科技的案例表明，本土设备厂商正在突破技术天花板，在新进工艺等高端领域实现突破。龙头晶圆厂的复购订单、量产线的批量应用，意味着国产设备已从“能用”迈向“好用”，在性能、稳定性、工艺适配度等维度逐步接近甚至部分超越国际竞品。

更值得关注的是，匠岭科技并未停留在单点技术的模仿与追赶，而是通过AI技术的深度融合，探索出了一条差异化竞争路径。AiMET系统20倍的分析速度提升、一键生成最优化量测方案等创新能力，展现了本土企业在AI与半导体制造融合领域的独特优势。在全球半导体产业智能化转型的大背景下，AI有望成为本土设备厂商实现“换道超车”的关键变量。

在全球半导体产业链重构的大背景下，匠岭科技的突破具有标志性意义。它证明了在高技术壁垒的半导体设备领域，本土企业通过长期研发投入、与客户的深度协同、对前沿技术的敏锐把握，完全有能力实现从跟随到并跑乃至局部领跑的跨越。

当然，我们也应清醒地认识到，在量检测设备领域，国产厂商的市场份额仍然有限，技术积累仍需时日，品牌认可度仍待提升。但匠岭科技的案例告诉我们，突破正在发生，机会窗口正在打开。在AI赋能、先进封装、化合物半导体等新兴赛道，本土企业有望实现换道超车。

匠岭科技以长期主义的坚守，为本土半导体产业链筑起供应安全新屏障，也为半导体设备产业的崛起提供了一个生动样本。在这条充满挑战的道路上，需要更多像匠岭科技这样的企业，以技术突破为矛，以产业协同为盾，共同推动半导体产业向价值链高端迈进。

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