截止11月10日丨空天微纳系统教育部重点实验室2025年度开放课题申报指南

空天微纳系统教育部重点实验室（以下简称“实验室”）依托于西北工业大学，在航空航天特种MEMS制造、微纳敏感机理与惯性器件、MEMS集成设计软件、微纳光学、先进流动测控、柔性微纳防除冰结构、微流控芯片与医疗装备等研究方面处于国内领先、国际先进水平，已成为我国重要的微纳系统科研及创新人才培养基地。实验室硬件条件达到国内一流、国际先进水平，在友谊校区拥有一条四/六英寸微加工工艺线，能够实现硅表面加工、湿法体硅加工、ICP深刻蚀等多种典型工艺；在宁波建立了一条8英寸MEMS中试线，是国内少有的面向全国开放的微纳制造和研发平台之一。实验室现有专任教师27人，其中国家级领军人才7人，国家级青年人才8人，形成了一支以国家级领军人才为学术带头人、以中青年教师为骨干的高水平研究队伍。实验室累计获得国家技术发明二等奖3项、国家教学成果一等奖1项、省部级一等奖8项。近五年来，承担国家重大科学仪器设备开发专项，民机专项，国家自然科学基金重点项目等项目，累计经费超过2亿元。

根据实验室发展规划及教育部重点实验室管理要求，为贯彻“开放、共享、融合、创新”的理念，积极开展学术交流与产学研合作研究、共享仪器设备/设施平台，促进MEMS领域科技进步与创新，诚邀国内外从事MEMS传感器与执行器相关的研究人员申报2025年度开放课题。

一、资助对象

申请本实验室开放课题者，需为国内外具有中级及以上职称或具有博士以上学位，并在高等院校和科研机构工作的专业技术人员。

二、资助领域

本年度实验室优先资助但不仅限于下列研究领域的课题申请：

1. 金硅/金锡键合可靠性研究

2. 胶体与表面微流控芯片研究

三、资助金额与研究期限

1、资助金额：3万/项

2、研究期限：1~2年。

四、申请程序

1、本次开放课题基金申请截止时间为2025年11月10日。开放课题申请书电子版请于截止日期前发送至mems_npu@163.com，纸质版申请书请于2025年11月20日前寄到本实验室。

2、申请者须填写“空天微纳系统教育部重点实验室开放课题基金申请书”，开放课题基金申请书一式4份，经所在单位签署意见并加盖公章（封面处）后寄送本实验室，并将电子版申请书发送至电子信箱：mems_npu@163.com。

3、申请书经本实验室初审后提交实验室学术委员会进行评审，确定资助项目和资助金额。评审结果由实验室主任签发，并通知申请者及其所在单位，未获批准的申请材料概不退还。

4、申请者收到批准资助通知后，应按批准金额、研究年限和评审意见，在收到立项通知后2周内编写开放课题合同书，经申请人所在单位签字盖章后提交至本实验室，核准后正式列为本实验室科研课题，拨付课题经费。

5、立项成功后需根据空天微纳系统教育部重点实验室开放课题申请与管理办法执行，按时填写结题报告。

五、联系方式

联系人：郝老师

电子邮箱：mems_npu@163.com

通信地址：陕西省西安市碑林区友谊西路127号航空楼D座212，邮编710072

发布时间：2025年10月20日

责任编辑：李 娜

责任校对： 金 程

审 核： 张 彤

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