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金融界2025年7月12日消息，国家知识产权局信息显示，恩特格里斯公司申请一项名为“具有涂层感测区的光罩盒”的专利，公开号CN120295053A，申请日期为2021年4月。
专利摘要显示，本申请涉及具有涂层感测区的光罩盒。使用干式涂布方法在光罩容器的内盒上产生感测区。所述感测区是具有特定光谱反射率的离散区。所述感测区经定位使得其可通过工具读取以确定所述盒的部分的距离。与用材料完全镀覆的内盒或其它湿式涂布施覆的材料相比，使用离散区及干式涂布方法用于施覆所述离散区会克服清洁或维持所述光罩容器的内盒的反射比时的不一致性及困难的问题。
本文源自：金融界
作者：情报员
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