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金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板支承单元以及包括其的热处理装置”的专利，公开号CN120236973A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，涉及基板支承单元以及包括其的热处理装置，披露能够通过能够调节基板的斜度的销组件来调节在基板表面流动的气流的同时，通过按照基板的区域不同的供热来控制基板的热处理，通过冷却单元急剧冷却基板处理空间和基板的温度的技术。基板支承单元包括：基板支承台，支承基板；多个销组件，包括升所述降基板的升降销、在所述升降销的外侧引导所述基板而防止所述基板脱离的导向顶端以及彼此对应配置有所述升降销和所述导向顶端的主体，所述多个销组件在所述基板支承台的外围部位彼此隔开配置；以及销升降构件，使所述销组件的所述主体升降来调节所述基板的高度。
本文源自：金融界
作者：情报员
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