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金融界2025年7月1日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“控制等离子体特性的设备和方法以及用于处理衬底的系统”的专利，公开号CN120236975A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，一种用于控制等离子体特性的设备包括一个或多个处理器、以及存储计算机可读指令的存储介质。当由一个或多个处理器执行时，该计算机可读指令被配置为使一个或多个处理器获得从非正弦发生器看到的等效电路，该非正弦发生器用于向设置在处理室的处理空间中的静电卡盘施加等离子体控制电压；并基于所获得的等效电路来控制在该处理空间中生成的等离子体的特性。该等离子体的特性包括以下至少一个：从衬底到等离子体的第一鞘层厚度、以及从将工艺气体喷射到该处理空间中的喷头到等离子体的第二鞘层厚度。
本文源自：金融界
作者：情报员
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