北京
金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“匀流结构及半导体工艺设备的工艺腔室”的专利，公开号CN119965070A，申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本申请公开了一种匀流结构及半导体工艺设备的工艺腔室，涉及半导体领域。一种匀流结构，应用于半导体工艺设备的工艺腔室，匀流结构包括：第一匀流件、多个遮挡件和多个弹性件；第一匀流件设有沿匀流结构的中心至边缘分布的多圈第一气孔；多个遮挡件沿匀流结构的中心至边缘分布，并分别位于第一匀流件出气口的一侧，每个遮挡件与至少一圈第一气孔对应设置，并在匀流结构的轴向上可靠近或远离第一匀流件；每个遮挡件与至少一个弹性件连接，弹性件用于使遮挡件具有靠近第一匀流件的运动趋势。一种半导体工艺设备的工艺腔室包括上述匀流结构。本申请至少能够解决晶圆表面的流场在径向上存在明显差异等问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1036次，财产线索方面有商标信息62条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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