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金融界2025年4月26日消息，国家知识产权局信息显示，ICT半导体集成电路测试有限公司申请一项名为“操作带电粒子束装置的方法和带电粒子束装置”的专利，公开号CN119864267A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，描述了一种操作带电粒子束装置的方法。所述方法包括：引导初级带电粒子束通过轴上检测器的开口、通过中间透镜、通过物镜并到达样本上，其中中间透镜设置在轴上检测器与物镜之间；用物镜将初级带电粒子束聚焦到样本上；在第一操作模式中，提供对中间透镜的激发来将包括背散射电子的高能量信号电子准直到轴上检测器的开口；在第一操作模式中，用轴上检测器检测包括次级电子的低能量信号电子；以及在第一操作模式中，用在轴上检测器上游的第二电子检测器检测背散射电子。还描述了一种对应带电粒子束装置。
本文源自：金融界
作者：情报员
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