北京
金融界2025年4月9日消息，国家知识产权局信息显示，晓睿真空设备（嘉兴）有限公司申请一项名为“一种磁控溅射用磁轭组件在线摆动装置”的专利，公开号CN 119776789 A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种磁控溅射用磁轭组件在线摆动装置，其中磁轭组件连接于外壳组件上，外壳组件和磁轭组件位于靶材内，包括以及摆动组件；第一终端组件以及第二终端组件分别设于外壳组件的两端，且与磁棒的摆动轴线同轴，外壳组件通过第一终端组件和第二终端组件可转动的连接于机架上；磁轭组件连接于外壳组件上，摆动组件驱动磁轭组件沿其回转轴线摆动，摆动电机正向或反向转动的过程中，便会使得外壳体相对接头主体的轴线进行相反方向的转动，通过对转动角度和转动幅度的控制，遍实现驱动磁棒沿其回转轴线摆动，进而实现磁轭组件的摆动，以实现对弧面产品的磁场更加均匀的分布，提高产品镀层表面的均匀度。
天眼查资料显示，晓睿真空设备（嘉兴）有限公司，成立于2022年，位于嘉兴市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币，实缴资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，晓睿真空设备（嘉兴）有限公司专利信息19条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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