目前,美日荷“三方协议”的条款已经逐步实施。美国一直怀着对中国科技崛起的不满已经有一段时间了,试图借助自身在国际舞台上的统治地位,来扼杀中国科技进步的道路。因此,在半导体芯片领域,美国紧紧掐住了中国光刻机的进口通道。
日本一贯听话,积极响应美国的号召,宣布对23种与芯片制造相关的设备实行出口管制。从清洗到热处理、到光刻和蚀刻设备,全都被条例规定禁止向中国出口,这几乎覆盖了整条光刻机的产业链。
不久后,荷兰也迅速跟进,颁布了自己的出口限制措施。荷兰成为最后一个出台出口管制政策的国家,自从9月1日起,正式限制高端DUV光刻机的出口。看似美国构筑的封锁网即将封住,然而却出现了令人始料不及的情节。
在这关键时刻,荷兰总统和他的团队意外辞职,令人大跌眼镜。紧接着,荷兰本土的ASML公司也发出令人瞠目结舌的宣言,宣布继续向中国出售高端设备。这一决定着实令拜登政府大吃一惊,仿佛“三方协议”成了一纸废约,荷兰看似完全背弃了原有承诺。
然而实际上,荷兰此前一直摇摆不定。起初,在协议初步制定阶段,面对巨大压力,荷兰率先表态称,他们将对先进的DUV光刻机型号实施出口管制,但较老的1980Di型号则可继续出口。
考虑到中国是拥有全世界最大的半导体进口需求量的国家之一,中国的芯片制造企业急需大量光刻机来生产芯片。因此,ASML在中国市场的表现,对其全球市场份额和盈利能力具有直接影响。为了维持与中国密切的合作关系,在日本响应封锁之前,ASML就一直在劝说美国不要中断光刻机的供应,强调良好的商业合作至关重要。
然而出人意料的是,今年6月底,荷兰也宣布正式加入了美国的协议签署行列。尽管EUV已经受到严格限制,但DUV的需求仍然巨大,因此基本出货量得以维持。荷兰已经开始实施的出口管制,这似乎将堵死中国进口高端光刻机的最后一条路。
面对这一情况,中国没有再坚持要求对方改变立场,而是迅速表明,我们将加速科技创新的步伐,不再依赖外国光刻机,自主研发国产光刻机的日子已是指日可待。并且从此开始,中国的光刻机行业开始喜报频传,似乎在无声地佐证自己的实力。
这一局面直接让ASML感到手足无措,他们采取了一个令全世界震惊的举措——无视美国制定的封锁协议,向相关部门申请出口许可证,竟然成功获得批准。这一意外转折让人大跌眼镜,似乎预示着“三方协议”已成空谈,拜登的小算盘注定要落空。
ASML公司近日宣布,荷兰已经批准了他们截至9月1日所需的出口许可,因此他们得以在本年之内,继续向中国供应TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的高端DUV光刻机系统。
简言之,ASML在2023年将不受出口管制的影响,只有EUV光刻机会受到限制,其他所有设备都可以顺畅运往中国。预计ASML将全力履行承诺,加速与中国的合作,以满足日益增长的需求。虽然中国正积极推动国产芯片研发,但短期内仍需要依赖外国的高精密技术,因此大陆客户为了确保订单得到满足,必定会尽早提交。
这一突如其来的好消息将有望推动ASML今年的业绩创下新高。原本人们以为荷兰对DUV光刻机实施出口管制会对ASML下半年的营收造成负面影响,但如今情况已经完全不同,大陆的订单预计将持续激增。
但遗憾的是,预计在2023年之后,荷兰的许可证将不再轻松批准。目前的繁荣只能看作是中国自主研发光刻机之前的铺垫。这也更加凸显了自主科技创新的重要性。
光刻机技术并非不可逾越的难题,中国在这领域已经取得引人注目的进展。一国内企业还成功研发了SAQP技术,可实现7纳米工艺,甚至5纳米工艺,并在成本方面尚有未完全发掘的潜力。此外,中国科学院也最近宣布,他们已经攻克了3纳米光子芯片技术,计划在2023年启动首条生产线。届时,中国将成为全球首个大规模量产光子芯片的国家。
中国一直以来以“中国速度”自豪,科技突破频频涌现,令国人为之骄傲。然而,科技发展不是孤立的,中国要让国产光刻机发生质的飞跃,国际上的技术支持势必不可或缺。但是在美国的铁腕制裁下,中国要近乎独自填补技术短板,中国半导体产业面临着巨大的压力,研发之路必将充满挑战。
为了破解这一困局,中国在技术研发、人才培养和政策引导方面的持续投入和不断创新仍然是必要的。只有在半导体制造设备的材料、工艺和制造技术方面不断突破,才能真正弥补短板,生产出先进的光刻机产品,才能真正庆祝科技的胜利。
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