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集微网消息，本周，上海积塔新增设备招标181台，华虹半导体新增设备招标25台，新昇半导体新增设备招标14台，积海半导体新增设备招标11台；精测半导体新增中标设备4台，上海微电子装备新增中标设备1台，Brooks新增中标设备1台。
重要招标数据：
本周招标248台设备，其中，光刻设备1台，薄膜沉积3台，工艺检测9台，离子注入1台，CMP 7台，热处理4台，清洗设备2台，其他设备221台。
重要中标数据：
本周中标8台设备，其中，工艺检测5台，其他设备3台。
本周重点企业动态：
近日，盛美上海推出Ultra Pmax等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，并预计将在几周内交付给中国的一家集成电路客户；拓荆科技在接受机构调研时表示，目前公司在手订单饱满，且合同负债主要为预收款。
以下是本周部分招标信息汇总：
以下是本周部分中标信息汇总：
（校对/韩秀荣）
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