全新炉型！恒普科技同时推出两款碳化硅8英寸双线圈感应炉

　　半导体产业网获悉：2022年7月，恒普科技同时推出2款8英寸双线圈感应晶体生长炉，新推出的2款全新炉型，对应SiC感应晶体生长炉在8英寸或更大尺寸上的劣势，也积极对应行业客户的使用习惯和经验延续。

在碳化硅8英寸时代到来之际，随着坩埚的直径增长，感应线圈只能加热坩埚的表面，不同位置的径向温度梯度都会随之增大，而这样的参数变化不适合大直径的晶体生长。恒普科技在6月推出了新一代2.0版SIC电阻晶体生长炉，以【轴径分离】+【新工艺】为核心技术，更优化解决晶体的长大、长快、长厚的行业需求。这就凸显SiC感应晶体生长炉的技术落后，为了对应行业客户的使用惯性及Know-How的延续，恒普科技推出了双线圈感应晶体生长炉，并且同时推出石英管（双线圈外置）和金属壳（双线圈内置）两款全新炉型。

双线圈的技术并不是新的技术路线，但是双线圈的相互干扰，特别是在坩埚中的发热互相干扰，对工艺调整存在很大难度，物质流传输及通道沉积都存在难点，为了克服8英寸感应晶体生长炉的问题点，恒普科技解决了双线圈对石墨坩埚的温度上下无法分离，做到了【准轴径分离】，并将技术同时使用在了两种炉型上，满足更多客户的使用习惯。
》》核心技术
·坩埚区域温度分离 （相对分离）
·采用特殊定制石墨硬毡
·双水平式线圈
·独特的二次发热体
·坩埚与热场分离
·物质流的传输导流控制
注：以上功能不是2款炉型都有。
》》产品&技术特点
一、SiC石英管双线圈（外置）感应晶体生长炉

技术特点：
·坩埚区域温度分离
·方便原工艺过渡
·水平螺旋线圈，提高磁场平衡与双线圈匹配
二、SiC金属壳双线圈（内置）感应晶体生长炉

技术特点：
·炉下方向出料，解决8英寸坩埚上取料的不便
·出料时，坩埚与热场自动分离，提高炉次的重复性
·独特的二次发热体
·优化内置线圈绝缘
·横向多点测温
·采用特殊定制石墨硬毡

▲宁波恒普真空科技股份有限公司
宁波恒普真空科技股份有限公司是一家以材料研究为基础，以高温热场环境控制为技术核心的金属注射成形（MIM）领域和宽禁带半导体领域的关键设备供应商，主要从事金属注射成形（MIM）脱脂烧结炉、碳化硅晶体生长炉、碳化硅同质外延设备等热工装备的研发、生产和销售。