国家知识产权局信息显示,合肥孚烜自动化科技有限公司申请一项名为“一种碳化硅长晶工艺”的专利,公开号CN122649098A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明涉及晶体生长领域,具体为一种碳化硅长晶工艺。其包括以下步骤:步骤一、将SiC粉料摊铺在坩埚底部,将碳化硅籽晶粘在坩埚上盖上,封闭坩埚;步骤二、对长晶炉进行多级抽真空处理;步骤三、阶梯升温和调压:S31、打开调压蝶阀、挡板阀一以及氩气、氢气的流量控制阀和隔膜阀;S32、设定目标炉压40kPa;S33、开启加热电源,加热炉腔温度至1200℃;S34、降低升温速率,将温度平缓提升至1800℃,随后继续平稳升温;步骤四、稳压长晶;步骤五:获得SiC单晶。本发明能显著提高晶体的有效长晶厚度、结晶质量和大规模量产良率。
天眼查资料显示,合肥孚烜自动化科技有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1177.0269万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥孚烜自动化科技有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目20次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息54条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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