国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“利用间隔层的纵向缝隙提升绕线密度的方法”的专利,公开号CN122602849A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本申请提供一种利用间隔层的纵向缝隙提升绕线密度的方法,包括:步骤一,提供衬底,在衬底上形成层间介质层;步骤二,实施第一刻蚀,在层间介质层中形成用于填充M1金属层的第一沟槽;步骤三,实施第二刻蚀,在层间介质层中形成用于填充阻断M1金属层的间隔层的第二沟槽和用于实现部分M1金属层之间互连的第三沟槽;步骤四,在第二沟槽和第三沟槽内沉积间隔层,位于第三沟槽内的间隔层中形成纵向缝隙;步骤五,在第一沟槽和纵向缝隙内填充M1金属层。利用间隔层沉积形成的纵向缝隙实现同层金属线之间的互连,取代传统的上层金属和通孔,为后端布局布线节省出线道,降低工艺成本,减少寄生电容和寄生电阻,提升芯片性能。
天眼查资料显示,上海华力集成电路制造有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2960000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华力集成电路制造有限公司参与招投标项目2102次,专利信息2888条,此外企业还拥有行政许可550个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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