北京
国家知识产权局信息显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司申请一项名为“等离子体过滤装置、工艺设备及晶圆表面处理的方法”的专利，公开号CN122599338A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，一种等离子体过滤装置、工艺设备及晶圆表面处理的方法，等离子体过滤装置包括：环状磁轭，所述环状磁轭具有贯穿所述环状磁轭的开口，所述开口两侧为所述环状磁轭相对的两端面；线圈，缠绕于与所述开口相对位置的所述环状磁轭上；永磁体，分别位于所述环状磁轭相对的两端面上，且相对设置的所述永磁体的相对端为相反极性；过滤管，位于所述开口处、相对设置的所述永磁体之间的间隔中，且所述过滤管延伸穿过所述开口。本公开有利于实现对等离子体较为灵活精准的过滤。
天眼查资料显示，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析，北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息13条，专利信息685条，此外企业还拥有行政许可126个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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