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一文梳理涂胶显影概念股:至纯科技、芯源微、罗博特科、富乐德、领先股份……

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涂胶显影是半导体制造前道工序中的关键环节,指通过涂胶机将光刻胶均匀覆盖在晶圆表面,并经曝光后完成显影,以形成图形化掩模。该环节直接影响光刻的分辨率与良率,是芯片制造中光刻与刻蚀之间的核心工艺步骤。在A股题材分类中,涂胶显影相关公司通常涵盖设备制造、关键零部件及配套材料等环节,其技术壁垒较高,属于半导体设备领域中的细分方向。

从产业链角度看,涂胶显影设备的市场需求与晶圆厂扩产周期、先进制程演进及国产化进程紧密相关。相关企业的产品包括专用涂胶显影机、清洗设备、温控模块等,其下游客户主要为逻辑芯片、存储芯片及功率半导体制造厂商。该题材的景气度受半导体行业整体资本开支及技术迭代影响,是观察国产半导体设备自主化进展的重要窗口。

就A股而言,涂胶显影题材目前覆盖8家上市公司,各公司入局逻辑如下:

股票名称关联情况至纯科技2024年7月22日回复称,公司主要以湿法清洗设备的生产销售为主,向外延扩展至涂胶显影设备,主要聚焦于6/8寸线领域,目前尚未量产。芯源微2026年4月9日回复称,公司目前的产品线主要分为四大板块:前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备以及化合物等小尺寸设备。罗博特科2025年半年报显示,在泛半导体领域,公司通过内生研发与外延并购实现跨越式发展。围绕晶圆制造关键环节,公司自2023年初启动半导体涂胶显影设备研发项目,目前已完成样机装配调试,标志着国产高端半导体装备研发取得实质性突破。富乐德2025年年报显示,生产过程中,半导体设备部分零部件表面会沉积覆着物或被刻蚀副产物污染,为确保生产功效,定期对相关生产设备进行洗净。集成电路制造过程中的氧化/扩散(扩散炉、氧化炉、外延生长设备)、光刻(溶胶显影设备、涂胶设备)、刻蚀(介质、金属、边缘刻蚀设备)、离子注入、薄膜生长(金属沉淀设备、介质层沉积设备、原子层沉积设备、电镀设备)、机械抛光等设备均系公司洗净服务对象,几乎涵盖集成电路2/3工序的生产设备定期维护。领先股份2025年年报显示,公司生产和销售半导体后道先进封装所需的包括清洗机、烘箱、刻蚀机、涂胶显影机、去胶机、分片机等大部分设备,产品线较为丰富,能够为客户提供一整条先进封装后道产线设备(除光刻机等部分设备外)的整体规划和定制化服务。百傲化学2026年5月20日公告显示,芯慧联主要聚焦“大湿法制程”,包括涂胶显影、湿法刻蚀、清洗及电镀等与化学液体相关的工艺环节,其平台具备通用性。固高科技2024年5月14日公告显示,公司的运动控制核心部件、系统类产品目前正在半导体/泛半导体前道加工的各工艺节点设备做积极应用拓展,公司产品在刻蚀、沉积、清洗等半导体前道加工设备中已形成订单,并积极开发如光刻机、机械抛光、涂胶显影等晶圆制造先进制程控制系统。 公司前道设备控制系统业务整体属于批量应用前期。盛美上海2026年4月10日回复称,公司的新产品立式炉管、PECVD、涂胶显影设备、面板级封装设备经过4-5年的差异化创新,终于迎来了产品进入市场的拐点。

本文根据公开信息整理,部分数据来源于东方财富、同花顺、巨灵财经、交易所,仅供参考,不构成投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:电报君

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