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超万小时隐秘实测,晋江电子源补齐国产化关键缺口

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来源:芯榜晋江

全球半导体产业竞争加剧,核心零部件自主可控已成为国内产业突破的关键。热场电子源——被称为半导体量、检测设备核心"心脏"的关键部件,长期被西方企业垄断,不仅售价高昂、供货周期漫长,更成为制约国内先进制程迭代的核心瓶颈,国产替代迫在眉睫。

为破解这一"卡脖子"难题,福建晋江依托千亿级集成电路产业布局、超100亿元产业基金及全链条人才扶持政策,集聚一众科创企业深耕核心部件国产化。毫束科技创始人、总经理张刚,便是其中的典型代表。他毅然放弃百万年薪,带队从零起步、历经两年攻坚,成功突破高端电子源核心技术,自研产品经过长期测试,获得客户认可,现已悄然打入长鑫存储供应链,上演了一场中小科创企业突围海外垄断的国产替代突围战。

一颗电子源卡住整条产业链:国产化已是产业必答题

看似小巧的热场电子源,是半导体产业与高端科学仪器的核心命脉,堪称设备"心脏"。它负责生成稳定可控的高能电子束,其亮度、稳定性、寿命与一致性,直接决定芯片制程精度、电镜成像分辨率和产品检测良率,是产业链不可或缺的核心部件。

在半导体制造领域,7nm及以下先进制程中,传统光学检测已无法识别纳米级微观缺陷,电子束检测成为唯一可行方案,先进芯片良率的提升,完全依托于高性能电子源的稳定输出。在高端科学仪器领域,扫描电镜、透射电镜的检测精度与分析能力,同样由电子源性能决定,支撑着材料科学、生物医药、半导体失效分析等多个前沿领域的发展。

但目前国内高端热场电子源市场完全被海外巨头垄断,尤其是日本企业,核心技术、产品供给牢牢受制于人。对于国内半导体产业而言,电子源国产化早已不是"可选课题",而是关乎产业自主可控的"生死命题"。立足这一产业刚需,毫束科技精准聚焦热场电子源赛道,全力攻坚进口替代。

百万年薪毅然放手:技术人负重创业,扎根国产化赛道

创业之前,张刚是国内头部电子束量、检测设备厂家东方晶源微电子科技有限公司(简称“东方晶源”)的核心技术专家,专攻电子光学方向,位列公司三位资深技术专家之一,年薪百万,直接对接公司决策层,拥有旁人艳羡的稳定优质岗位。


看似顺遂的职业之路,却暗藏现实困境,也成为他创业的契机。"创业不是一时冲动,是家庭和事业双重因素推着我走的。"谈及初心,张刚坦言满是无奈。2021年入职东方晶源后,他希望爱人也能进入同一家公司,方便照料家庭,虽获公司董事长应允,但后续多轮面试均未被录用。"我爱人从原公司辞职后,半年没找到合适的工作,要么工资太低,要么不交社保,最后只能在家带孩子。"

与此同时,曾在ASML工作的前同事向他抛出创业邀约,承诺产品研发成功后全力采购支持。而放眼国内市场,高端热场电子源完全被海外垄断的空白赛道,更让他坚定了攻坚国产替代的决心。2022年,张刚毅然从东方晶源辞职,创立北京毫束科技,聚焦高端热场发射电子源自研,全力攻坚这一核心卡脖子部件。张刚坦言:"当时国内热场电子源完全被国外卡脖子,没人愿意深耕硬骨头,但产业总得有人去突破,我想试一试。"

绝境试错攻坚:自筹资金深耕,两年磨技破瓶颈

创业初期艰难重重,首当其冲的便是资金危机。原定300万投资临时变故,投资方不仅无法履约打款,还希望空持股份合作。绝境之下,张刚拿出数百万全部积蓄,在北京亦庄租厂房、购置设备、搭建研发场地,在没有政策支持下,独自扛起创业重担。

技术研发的难度远超预期。初代产品存在寿命短、电子束发射不稳定、突发停机等诸多问题,售后返修、迭代调试成为常态。"那时候最怕客户打电话,一接电话准是出问题了。退回来改,改完再发过去,前后折腾了数次,终于在2024年把产品做成熟了。"创业两年间,张刚未领一分工资,妻子外出务工补贴家用,他一人兼顾研发攻坚与家庭琐事,默默坚守国产化初心。张刚表示:"做核心零部件研发没有捷径,只能靠一次次试错、一次次迭代,熬过去就是曙光。"


2024年末,事业与家庭的双重困境迎来转机。因北京无户口,孩子入学难题无法解决,而彼时晋江正全力布局集成电路产业,完善的人才、产业、教育配套政策,精准解决了创业者的后顾之忧。张刚果断举家南迁,扎根晋江专心深耕技术研发与产品迭代。"在北京干着解决'卡脖子'的事,结果自己孩子连学都上不了,心里特别不是滋味。晋江不仅解决了后顾之忧,更给了创业者安心搞研发的沃土。"

万小时隐秘实测:打破行业偏见,用数据印证国产实力

国产设备落地量产,最大阻碍从来不是技术,而是行业普遍存在的畏错心态。晶圆厂为规避风险、避免担责,普遍偏好成熟进口设备,不愿为国产新品提供测试试错机会,这也是本土设备企业成长缓慢的核心痛点。张刚对此深有感触:"国产技术不是做不出来,而是缺少落地试错的场景,没有实测打磨的机会,永远无法追赶进口产品。"

2024年4月,毫束科技陷入"有技术、无场景"的困境,大厂不愿测试,团队只能另辟蹊径,通过第三方渠道寻求落地机会。张刚与国内一家半导体设备维保企业对接,免费送出自研电子源产品测试。对方工程师实测确认性能稳定后,未告知终端晶圆厂家设备搭载了国产部件,直接将设备送入中芯国际产线投入常态化运行。这场隐秘的实测,一跑便是两年。设备24小时不间断满负荷运行,累计时长突破16000小时,全程性能稳定、表现对标进口产品,终端厂家始终未察觉这是一款纯国产自研电子源。

一年后,张刚主动对接终端厂家,坦诚说明产品自研身份。对方震惊之余启动第三方核查,而此前合作的第三方工程师因利益分歧,不仅否认事实、将毫束科技拉黑,中断了合作。即便外部合作受阻,毫束科技的电子源依旧在产线稳定运行,用数据证明实力。

截至2026年5月,这支初代国产电子源已持续稳定运行超两年,累计时长突破16000小时。行业电子源常规质保期仅1年、使用寿命1—3年,而毫束科技产品的稳定性、耐用性远超行业均值。该厂区产线十几台其他设备搭载的电子源均为日本进口产品,仅毫束科技1款为国产,全程零异常。

无需宣传造势,长达16000小时的不间断稳定运行,就是这款国产关键部件最硬核的实力证明。央视财经《对话》栏目中,张汝京与尹志尧也曾分享国产设备的成长内核:本土技术的突破,离不开产业链包容试错、分步迭代的培育逻辑。中芯国际与中微半导体正是依靠上下游协同扶持、实战打磨迭代的模式,实现了国产设备的规模化落地。两位行业前辈多次呼吁,行业需打破固有偏见,为国产设备留出试错与成长空间,让技术在真实产线中查漏补缺、迭代升级——这也正是毫束科技坚持长期实测、深耕产品打磨的核心意义。

主动破局拓市:从测试碰壁到切入头部大厂供应链

依托长期实测数据背书,2025年5月,张刚不再被动等待,主动开启全国拓客之路。5天辗转上海、无锡、合肥、武汉等五城,对接12家潜在客户,全力为国产技术争取落地场景,最终成功对接合肥长鑫存储技术有限公司。

国产新品的落地之路依旧坎坷。2025年6月,毫束科技产品首次入驻合肥Fab厂先进制程产线测试,因细微的电子束偏差问题未能达标,对方出于风险考量建议更换进口电子源。首次测试失利,是所有国产新设备迭代路上的必经之路。张刚坦言:"一次失败不代表国产技术不行,只能说明我们还有优化空间,每一次测试失利,都是产品升级的机会。"


张刚并未放弃,从材料源头单晶钨开始,逐个审查每个工艺参数,针对性优化电子源能散、发射角后,于同年8月在该厂成熟制程产线再次测试。此次产品性能全程稳定,连续运行超8个多月,直至2026年3月因设备检修、厂家消耗进口库存才被动换下。凭借稳定的实测表现,长鑫存储正式将毫束科技纳入国产替代供应商名录,为其切入主流晶圆厂市场打通关键通道。

扎根晋江深耕:稳扎稳打稳步夺回海外垄断市场

当前国内电子源国产替代市场空间极为广阔。在半导体制造领域,国内12英寸晶圆厂电子束检测设备核心部件几乎全部依赖进口,年需求超千支;在高端科学仪器领域,国内每年进口电镜超千台,对应的电子源耗材市场规模也相当可观。长期以来,这块高刚需、高价值的市场,完全被海外企业垄断。

毫束科技自研的电子源,性能全面对标进口产品,性价比与本土化服务优势突出。长鑫存储已将公司纳入供应商体系,后续商业化落地空间广阔,整体发展路径清晰可期。

扎根晋江,是毫束科技立足长远的战略选择。当地已集聚东京电子、北方华创、华海清科等国内外半导体设备头部企业,搭配本土维保服务商,形成了配套完善、协同联动的集成电路产业生态。完善的上下游配套、优质的产业政策,为毫束科技的技术迭代、市场落地提供了绝佳沃土。

秉持"稳扎稳打、品质为先"的发展理念,坚持循序渐进打磨产品与服务。待现有客户产品完成两年全周期实测、积累充足验证数据后,再逐步拓展至更多晶圆厂及设备厂商。张刚表示:"核心零部件拼的是品质和稳定性,快就是慢、慢就是快,扎实打磨好每一款产品,才是国产替代的根本。"

随着2026年晋江头部集成电路企业扩产落地,区域产业势能持续释放,毫束科技或迎来全新发展机遇。谈及未来,张刚的愿景朴素而坚定:接下来需要解决单晶钨的国产替代,我们采购单晶钨已经受限,通过第三方贸易公司进口的单晶钨,品质较差,严重影响束流发射稳定性和寿命,因此往往需要进口一堆单晶钨,然后从中挑着用。

没有轰轰烈烈的宣言,只有深耕实业的坚守。从无人敢试的国产新品,到万小时稳定运行的硬核科技,再到大厂认可的主力供应商,毫束科技的突围之路,是国内无数半导体科创企业的缩影。在产业链包容试错、协同攻坚的大趋势下,越来越多的国产硬核技术正在打破海外垄断,一步步筑牢中国半导体产业自主可控的坚实根基。

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