芯碁微装取得激光钻孔检测相关专利，实时检测激光钻孔加工异常，降本提效

来源：新浪证券-红岸工作室

7月4日消息，国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“激光钻孔机的钻孔检测装置、方法及激光钻孔机”的专利，授权公告号CN117697187B，授权公告日为2026年7月3日。申请公布号为CN117697187A，申请号为CN202311706107.3，申请公布日期为2026年7月3日，申请日期为2023年12月12日，发明人董帅、赵尚州，专利代理机构北京景闻知识产权代理有限公司，专利代理师常鹏，分类号B23K26/70、B23K26/382。

专利摘要显示，本发明公开了一种激光钻孔机的钻孔检测装置、方法及激光钻孔机，该装置包括：相机，临近安装于激光钻孔机的光轴，用于采集激光钻孔机在基板上的加工结果的图像；处理模块，用于基于图像进行运算分析，以确定激光钻孔机在基板上的加工结果是否存在异常。本发明通过将相机安装在临近激光钻孔机的光轴位置，随着激光钻孔运动的进行，相机可以实时采集激光钻孔机在基板上的加工结果的图像，同时，处理模块将采集到的图像进行运算分析，及时检测加工过程中可能出现的异常情况，实现实时检测和校准功能，提升用户对加工质量的信心，缩短设备的导入和认证时间，降低了成本和整机复杂度。

芯碁微装成立于2015年6月30日，于2021年4月1日在上海证券交易所上市，注册地址与办公地址均涉及安徽省合肥市。该公司是国内微纳直写光刻设备领域的佼佼者，核心业务聚焦于光刻设备，技术优势显著。

芯碁微装所属申万行业为机械设备 - 专用设备 - 其他专用设备，涉及年度强势、PCB概念、光刻胶等概念板块。公司主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售及维保服务，产品功能覆盖微米到纳米的多领域光刻环节。

2025年，芯碁微装实现营业收入14.08亿元，在93家同行业公司中排名第31，低于行业第一名科达制造的173.89亿元和第二名豪迈科技的110.78亿元，行业平均数为17亿元，中位数为9.94亿元。其主营业务构成中，PCB系列营收10.8亿元，占比76.69%；泛半导体系列2.33亿元，占比16.58%；租赁及其他8739.3万元，占比6.21%；其他(补充)738.1万元，占比0.52%。净利润方面，2025年为2.9亿元，行业排名12/93，低于第一名豪迈科技的23.95亿元和第二名科达制造的21.67亿元，行业平均数为1.23亿元，中位数为4809.11万元。

合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1基于拼板的曝光台面标定方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610313547.X2026-03-16CN122110620A2026-05-29张辉、张润晨、叶加良、陈东2玻璃基板激光打标工作台发明专利实质审查的生效、公布CN202610219521.92026-02-24CN121848002A2026-04-14叶飞3直写式光刻机及扫描曝光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610146096.52026-02-02CN121900112A2026-04-21徐从浩、赵美云4一种改善PCB油墨色差的多次曝光偏移方法及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610107704.12026-01-27CN121763669A2026-03-31孟鑫瑞、贾威强5直写式光刻机及其曝光同步诊断方法和信号同步处理单元发明专利实质审查的生效、公布CN202610093213.62026-01-23CN121763668A2026-03-31徐从浩、童诚、王振亚6一种用于印刷电路板PCB的检测方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610020506.12026-01-08CN121784849A2026-04-03章晋凡、刘鑫、沈古飞、焦官华7基于提前测距的动态追焦光学测量系统、方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512001839.82025-12-29CN121741698A2026-03-27谢鹍、张润晨、石庆林8一种可折展的压紧机构及LDI设备实用新型授权CN202520797048.32025-04-24CN224005412U2026-03-17汪志全、梁旭9一种对并排印刷电路板侧边区域形成八边压紧的压紧装置及LDI设备实用新型授权CN202520797055.32025-04-24CN224319777U2026-06-02汪志全、梁旭10光学测距装置和激光直写曝光机发明专利实质审查的生效、公布CN202510416740.12025-04-03CN120293010A2025-07-11徐剑锋、穆璐、姜蔚然11激光加工装置和激光加工系统发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510309673.32025-03-17CN120095316A2025-06-06刘孟辉、赵尚州12用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机实用新型授权CN202520419485.12025-03-11CN224020147U2026-03-20葛星雨、朱会敏、曹桂林、卢小齐、孙文彪13吸附组件及具有其的曝光装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510276930.82025-03-10CN119987158A2025-05-13叶飞、程刚、项宗齐、汪涛14吸附组件及具有其的曝光装置实用新型授权CN202520372061.42025-03-05CN223692643U2025-12-19于成信15LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机发明专利授权CN202510225750.72025-02-27CN119805889B2025-11-28赵祥宝、蔡志鸿16LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机发明专利授权CN202510224817.52025-02-27CN119805888B2026-04-10赵祥宝、郑超、朱远哲、高晓锋17一种抖动分板装置实用新型授权CN202520211748.X2025-02-11CN223792483U2026-01-13陆原、束义、刘汉云18应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机发明专利授权CN202510148769.62025-02-11CN119805879B2026-04-03王克、程建高19一种双台面曝光机实用新型授权CN202520171673.72025-01-25CN223796823U2026-01-13于成信20一种曝光面剂量修正系统实用新型授权CN202520171669.02025-01-25CN223796822U2026-01-13李志豪、董邦林、穆璐、宋照爱21一种插框自动收放板装置发明专利授权CN202510120189.62025-01-25CN119822052B2026-03-13焦官华、陆原、束义、刘汉云22一种插板夹持装置发明专利授权CN202510120188.12025-01-25CN119822051B2026-03-17陆原、焦官华、束义、刘汉云23运动曝光工作台、曝光系统和曝光的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510110128.12025-01-23CN119644681A2025-03-18李辉24运动曝光工作台及具有其的曝光系统实用新型授权CN202520160598.42025-01-23CN223911162U2026-02-13李辉25提升UV激光钻孔加工工艺的激光钻孔设备发明专利实质审查的生效、公布CN202510057567.02025-01-14CN119794623A2025-04-11刘孟辉、赵尚州26基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备实用新型授权CN202520083435.02025-01-14CN223932816U2026-02-24刘孟辉27激光钻孔独立动态调控的多AOM级联设备实用新型授权CN202520083520.72025-01-14CN223932871U2026-02-24刘孟辉28激光二极管的散热装置、高功率半导体激光器及组装方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510016572.72025-01-06CN119994629A2025-05-13刘亮、杨凯29一种半导体空间光激光器镜片的调试工装及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510016571.22025-01-06CN120002560A2025-05-16刘亮、杨凯30激光器外壳及半导体空间光激光器实用新型授权CN202520025368.72025-01-06CN223797724U2026-01-13刘亮、金伟龙、杨凯31曝光装置实用新型授权CN202423309294.42024-12-31CN223566032U2025-11-18叶飞32应用于光头底板的散热机构及其曝光机实用新型授权CN202423314307.72024-12-31CN223712003U2025-12-23张文龙、梁旭33直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机发明专利实质审查的生效、公布CN202411904595.32024-12-23CN119556532A2025-03-04王超、梅文辉、赵美云、邵德洋34自动上下料装置实用新型授权CN202423178878.22024-12-23CN223572237U2025-11-21张亮、赵尚州、李辉、岳览35吸附总成及具有其的光刻装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411726109.32024-11-28CN119511647A2025-02-25侯庆伟、汪涛36提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411720670.02024-11-28CN119292005B2025-10-10卞洪飞、张辉、叶加良、陈东37基于空间光调制的双波段激光图形化微纳制造装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411700772.62024-11-26CN119387805A2025-02-07张辉、卞洪飞、叶加良、陈东38夹取装置实用新型授权CN202422891408.42024-11-26CN223385416U2025-09-26李冬青、李香滨、焦官华、徐欣39一种真空吸附固定式晶圆载台实用新型授权CN202422718008.32024-11-06CN223598699U2025-11-25于成信40夹紧总成及具有其的光刻装置实用新型授权CN202422674996.62024-11-04CN223666547U2025-12-12王历先、梁旭、张文龙41一种能够快速更换过滤器的风机过滤装置实用新型授权CN202422675578.92024-11-01CN223425389U2025-10-10程强42曝光总成及具有其的光刻设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411543995.62024-10-31CN119126500A2024-12-13张浩为、刘孟辉、武林43一种用于LDI设备的气动遮光装置实用新型授权CN202422670377.X2024-10-31CN223401139U2025-09-30张文龙44一种用于DMD芯片散热的水冷系统实用新型授权CN202422670371.22024-10-31CN223598092U2025-11-25张文龙、梁旭、王历先45单台面LDI曝光机外观专利授权CN202430676628.82024-10-25CN309380230S2025-07-11王历先、项宗齐、梁旭46FPD边缘曝光打码设备外观专利授权CN202430676627.32024-10-25CN309385911S2025-07-15程强47高效单机双面曝光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411492573.02024-10-24CN119200348A2024-12-27曲鲁杰、程刚48高效单机双面曝光设备实用新型授权CN202422576617.X2024-10-24CN223217782U2025-08-12曲鲁杰、程刚49聚焦总成及具有其的光刻装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411486173.92024-10-23CN119126499A2024-12-13徐剑锋、戴晓霖、黄思航50标定总成及具有其的曝光装置实用新型授权CN202421971890.62024-08-13CN223260027U2025-08-22叶飞