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近日，半导体设备厂商#华海清科宣布，旗下全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内先进存储领域龙头企业。
据悉，这是继此前该装备批量交付多家集成电路制造头部企业后，华海清科离子注入系列装备在存储芯片领域的又一重要进展。
iPUMA-LE关键性能指标已达到国际先进水平，具备优异的束流传输效率、注入均匀性与角度控制能力，能够满足先进制程、先进存储对离子注入工艺的严苛要求。
离子注入机是集成电路前道工艺的关键核心装备，技术壁垒高且长期由国际巨头垄断。
华海清科表示，此次大束流离子注入机iPUMA-LE交付国内先进存储龙头企业，是对其稳定性、均匀性和工艺匹配能力的高度认可，为公司在存储芯片制造领域的市场拓展打开了更广阔的空间。
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