北京
国家知识产权局信息显示，辽宁纳太科技有限公司申请一项名为“一种平衡非平衡磁场耦合的柱形多面体旋转磁控溅射装置”的专利，公开号CN122013129A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明提供了一种平衡非平衡磁场耦合的柱形多面体旋转磁控溅射装置，涉及磁控溅射技术领域，包括支架和外筒，外筒内设有承载件，承载件上设有多个靶材，承载件内设有呈条状的永磁体；外筒的侧部具有开口，永磁体与其中一个靶材相对且二者均朝向开口；在溅射过程中，第二驱动部使永磁体沿第一方向移动，以切换永磁体与朝向开口的靶材在其宽度方向上的相对位置，强磁场能够改变等离子体相对于靶材表面的位置，从而改变靶材表面形成沟槽的位置，提升靶材的利用率，减少停机更换靶材的次数，便于连续生产。第一驱动部能够切换朝向开口的靶材，能够形成单层或多层复合涂层，同时进一步减少停机更换靶材的次数，便于连续生产。
天眼查资料显示，辽宁纳太科技有限公司，成立于2016年，位于沈阳市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，辽宁纳太科技有限公司参与招投标项目8次，专利信息9条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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