伟测科技取得晶圆检测装置相关专利，晶圆检测装置避免测试探针因降温形变

来源：新浪证券-红岸工作室

5月12日消息，国家知识产权局信息显示，上海伟测半导体科技股份有限公司申请一项名为“晶圆检测装置及检测设备”的专利，授权公告号CN121596083B，授权公告日为2026年5月8日。申请公布号为CN121596083A，申请号为CN202610128856.X，申请公布日期为2026年5月8日，申请日期为2026年1月30日，发明人费春潮、关姜维、孙策、刘清华，专利代理机构上海领洋专利代理事务所（普通合伙），专利代理师罗晓鹏，分类号G01R31/28。

专利摘要显示，本公开提供一种晶圆检测装置及检测设备。晶圆检测装置包括承载本体、至少一加热单元和检测部。承载本体包括供承载待测晶圆的承载部；所述承载部包括与待测晶圆接触的中央区域，以及环绕中央区域的外围区域。所述至少一加热单元设于承载本体以用于加热承载部。检测部与承载本体之间可相对移动配合地设于承载部上方，以能够到达对应待测晶圆上任一待测区域的检测位置。外围区域被设置成令处于任一检测位置的检测部的水平正投影图案均位于承载部内。所述检测设备包括晶圆检测装置。本公开中的检测部上的部分测试探针抵接待测晶圆，并被加热后的待测晶圆所加热；而另一部分测试探针则因靠近承载部而获得热量，从而避免因温度降低而形变的情况发生。

伟测科技成立于2016年5月6日，于2022年10月26日在上海证券交易所上市，注册地址和办公地址均位于上海。该公司是国内领先的集成电路测试企业，专注于晶圆测试、芯片成品测试等业务，具备全产业链服务能力。

伟测科技主营业务为晶圆测试、芯片成品测试以及与集成电路测试相关的配套服务，所属申万行业为电子 - 半导体 - 集成电路封测，概念板块包含Chiplet概念、专精特新、高派息。

2025年，伟测科技营业收入15.75亿元，行业排名8/14，与第一名长电科技388.71亿元、第二名通富微电279.21亿元差距较大，低于行业平均数74.8亿元，接近行业中位数16.79亿元。主营业务中，晶圆测试8.61亿元占比54.70%，芯片成品测试6.33亿元占比40.22%，其他(补充)8008.05万元占比5.09%。净利润3.03亿元，行业排名6/14，第一名长电科技15.7亿元，第二名通富微电13.77亿元，低于行业平均数4.06亿元，高于行业中位数2.1亿元。

上海伟测半导体科技股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1探针过驱量的确定方法及半导体设备发明专利公布CN202610443296.72026-04-07CN121978499A2026-05-05孙策、关姜维、张凯、邢涛、刘清华、许威龙2温控系统及封装测试方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610250586.X2026-03-03CN121784507A2026-04-03左上勇、吴盼盼3一种结合全值仿真与二分法的电压Trim测试方法发明专利公布CN202610149246.82026-02-03CN121633797A2026-03-10古睿、关姜维、崔丽娜、郭敬4晶圆检测装置及检测设备发明专利授权CN202610128856.X2026-01-30CN121596083B2026-05-08费春潮、关姜维、孙策、刘清华5晶圆测试装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610114304.32026-01-28CN121578108A2026-02-27费春潮、关姜维、孙策、刘清华6晶圆测试装置及测试设备发明专利授权CN202610106639.02026-01-27CN121578106B2026-05-01费春潮、关姜维、孙策、刘清华7一种基于Chroma平台的通用寄存器Pattern生成方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610009438.92026-01-06CN121455763A2026-02-03郭兵、关姜维、王学让、郭敬8测试方法及其测试装置发明专利授权CN202610004536.32026-01-05CN121476905B2026-05-01左上勇、蒋治宇9一种异步时钟的同步通讯方法、装置以及基于异步时钟通讯的测试方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510153686.62025-02-12CN119961074A2025-05-09张伟军、王倩倩、左上勇10示波器探头夹持装置发明专利实质审查的生效、公布CN202411990537.72024-12-31CN120064724A2025-05-30崔丽娜、王学让、郭敬11一种芯片检测装置用支撑平台实用新型授权CN202423101776.02024-12-16CN223671200U2025-12-16王兵兵12一种自动清洁的清针装置、控制系统实用新型授权CN202423101767.12024-12-16CN223917553U2026-02-17康泉13一种半导体测试设备用水平度验证装置实用新型授权CN202423087039.X2024-12-13CN223610849U2025-11-28李广东14一种外抽包装机用承载台实用新型授权CN202423087040.22024-12-13CN223673000U2025-12-16张伟15一种一体式芯片托盘轨道挡板实用新型授权CN202422853588.72024-11-22CN223408884U2025-10-03张承军16一种快接式吸头及其辅助扳手实用新型授权CN202422853587.22024-11-22CN223406998U2025-10-03张承军17一种防回弹装置及烤箱实用新型授权CN202321363987.42023-05-31CN220203660U2023-12-19张凯18一种限位装置及晶圆检验承载台实用新型授权CN202321364346.02023-05-31CN220323151U2024-01-09孙策19一种冷凝水隔绝装置及降温装置实用新型授权CN202320690307.32023-03-31CN219222990U2023-06-20崔帅涛20一种降温装置的支架及降温装置实用新型授权CN202320690238.62023-03-31CN219221820U2023-06-20崔帅涛21一种温度测试机台封闭结构实用新型授权CN202320690230.X2023-03-31CN219456785U2023-08-01邢涛22一种芯片测试机站台固定支架实用新型授权CN202320342786.X2023-02-28CN219389326U2023-07-21李广东23一种芯片测试机的支撑机构实用新型授权CN202320342785.52023-02-28CN219434903U2023-07-28蔡豆豆24一种半导体测试装置实用新型授权CN202320342787.42023-02-28CN219434980U2023-07-28周忠华25一种机台维护器具推送装置实用新型授权CN202222613914.82022-09-30CN218367922U2023-01-24陈海鑫26一种传感器探头快速拆装结构及晶圆测试机承载平台实用新型授权CN202222616452.52022-09-30CN218956722U2023-05-02张伟27一种具有防碰撞功能的中继板实用新型授权CN202221704479.32022-07-04CN218099448U2022-12-20关姜维、刘清华28一种基于半导体测试的限位柱实用新型授权CN202221683741.02022-06-30CN218099262U2022-12-20崔帅涛、唐学波29一种晶圆测试台降温装置实用新型授权CN202221683735.52022-06-30CN218380113U2023-01-24唐学波、崔帅涛30一种常高温机台腔体内部温度降温装置实用新型授权CN202220514572.12022-03-09CN217064404U2022-07-26巴伟国、唐学波、孙秀峰31一种对接板锁紧装置实用新型授权CN202220516851.12022-03-09CN217156582U2022-08-09唐学波、巴伟国32一种电脑支架实用新型授权CN202220514569.X2022-03-09CN217503133U2022-09-27李一然、孙秀峰、巴伟国33一种半导体测试机环境校正装置实用新型授权CN202220516853.02022-03-09CN217506105U2022-09-27孙秀峰、邢涛、张伟34一种半导体编带机面带导向装置实用新型授权CN202220399536.52022-02-25CN216784099U2022-06-21王刚、王兵兵、李广东35一种方卡上歪及松动的报警装置实用新型授权CN202220398198.32022-02-25CN217061135U2022-07-26张伟、李一然、唐学波36一种厂务压缩空气湿度检测装置实用新型授权CN202220398545.22022-02-25CN217505720U2022-09-27邢涛、张伟、李一然37一种晶圆片输送存放装置实用新型授权CN202220343256.22022-02-21CN216784296U2022-06-21于文奇、乔立宝、张彦锋38一种晶圆吹风清洁装置实用新型授权CN202220343257.72022-02-21CN217043795U2022-07-26张彦锋、乔立宝、于文奇39一种芯片封合装置实用新型授权CN202220325171.12022-02-17CN216793625U2022-06-21王刚、李广东、张冬冬40一种芯片包装卡盘安装装置实用新型授权CN202220321961.22022-02-17CN218664800U2023-03-21王刚、李广东、张冬冬41一种半导体材料干燥柜实用新型授权CN202220313360.72022-02-16CN217488013U2022-09-27乔立宝、于文奇、张彦锋42一种防掉落的晶圆打点工作台实用新型授权CN202220313893.52022-02-16CN218099454U2022-12-20张彦锋、乔立宝、于文奇43一种半导体压模治具实用新型授权CN202123344227.22021-12-28CN216540637U2022-05-17王刚、李广东、张冬冬44一种半导体测试设备的吸嘴实用新型授权CN202123344188.62021-12-28CN217060283U2022-07-26王刚、王兵兵、李广东45一种测试头移动装置实用新型授权CN202123338666.22021-12-28CN217505909U2022-09-27李一然、崔勇彬、王宪兵46一种晶圆转运装置实用新型授权CN202123284451.72021-12-24CN216543227U2022-05-17傅郁晓、孙玉男、孙鹏彪47一种半导体生产设备降温装置实用新型授权CN202123284450.22021-12-24CN216563073U2022-05-17闻国涛48一种针卡测试防呆装置实用新型授权CN202123226284.02021-12-21CN216560894U2022-05-17傅郁晓、孙鹏彪、孙玉男49一种测试机接线防错插装置实用新型授权CN202123224487.62021-12-21CN216560700U2022-05-17闻国涛50一种晶圆分片装置实用新型授权CN202123226239.52021-12-21CN216563051U2022-05-17傅郁晓、孙玉男、孙鹏彪

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