上海
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“等离子体约束结构及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202520402185.2，授权日为2026年5月12日。
专利摘要：本实用新型提供一种等离子体约束结构及等离子体处理设备。一种实施例中，所述等离子体约束结构包括：第一环，所述第一环为硅基材质且形成有第一气体通道；第二环，连接于所述第一环的下游侧，所述第二环中形成有第二气体通道，所述第二气体通道与所述第一气体通道连通；接地环，连接于所述第二环的下游侧，并使所述第一环接地。另一种实施例中，所述等离子体约束结构包括：硅基约束环，所述硅基约束环中形成有气体通道，且所述硅基约束环的下游侧的两侧均接地。本实用新型用于解决现有的等离子约束结构存在的零件寿命低、涂层材料损坏并溅射到晶圆上影响工艺结果的问题。
今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了24.24%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了24.75亿元，同比增74.61%。
通过天眼查大数据分析，中微半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了29家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息111条，专利信息1672条，著作权信息13条；此外企业还拥有行政许可88个。
数据来源：天眼查APP
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