北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“基座加热器”的专利，公开号CN121772058A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，提出了一种基座加热器。为了避免将基座的不同材料暴露于等离子体环境，本公开提出了一种基座加热器，其包括基座部，该基座部包括：上部；下部；以及设置在上部和下部之间的多个加热元件；和轴部，其中上部和下部通过扩散结合而结合。在另一实施例中，本公开还提供了一种基座加热器，其包括基座部，该基座部包括：在中心向上凹陷的上部；下部，其成形为配合到上部的凹陷区域中；以及多个加热元件，其设置在下部上于上部和下部之间；和轴部，其中上部和下部通过钎焊水平地结合，并且通过电子束焊接竖直地结合。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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