北京
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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“对电沉积工具中排放路径的过滤”的专利，公开号CN121752766A，申请日期为2024年8月。
专利摘要显示，所公开的示例涉及在电沉积工具中的筛网的使用，以保护排放部件而不受到碎屑的影响。一示例提供了一种电沉积工具。该电沉积工具包含滤杯。该滤杯包含入口和出口。该滤杯还包含过滤器接口，其设置成将过滤器沿着该入口与该出口之间的流体路径安置。该滤杯还包含排放开口，该排放开口被安置成在该过滤器安置于该过滤器接口中时对该滤杯的入口侧进行排放。该电沉积工具还包含从该排放开口引出的排放路径，该排放路径包含排放部件。该电沉积工具还包含筛网，其用于将碎屑从电镀溶液滤除，其中该筛网被配置在该入口与该排放部件之间的流体路径内。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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