北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“提高清洁效率的腔室部件”的专利，公开号CN121646658A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本文描述了预热环和具有所述预热环的处理腔室。在一个例子中，用于膜沉积的处理腔室包括腔室容积、布置在腔室容积中的基板支撑件、基板支撑件具有径向向外的表面、以及围绕基板支撑件的预热环。预热环包括面向径向向外表面的锥形壁。锥形壁朝向预热环的顶表面和朝向基板支撑件变窄。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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