国家知识产权局信息显示,中环领先半导体科技股份有限公司申请一项名为“一种硅片表面研磨方法、设备”的专利,公开号CN121589710A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本申请提供一种硅片表面研磨方法、设备,步骤包括:控制第一供给单元向研磨区域供给第一磨料;接收并响应切换信号;控制第二供给单元向所述研磨区域供给第二磨料;其中,所述第一磨料与所述第二磨料的粒径不同。本申请在同台设备的单工序内采用自动切换的双砂浆桶供液模式,在粗磨阶段采用大粒径磨料可提升材料去除效率,在精磨阶段自动切换至小粒径磨料以去除粗磨阶段产生的表面损伤,既提升产品良率与品质,又避免多设备加工带来的成本与风险,高效地获得了具有高表面质量的硅片。
天眼查资料显示,中环领先半导体科技股份有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本500000万人民币。通过天眼查大数据分析,中环领先半导体科技股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目348次,财产线索方面有商标信息10条,专利信息1184条,此外企业还拥有行政许可238个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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