国家知识产权局信息显示,ASML荷兰有限公司申请一项名为“机器常数优化方法和相关联的设备”的专利,公开号CN121569242A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本公开提供一种确定用于过程和/或设备的一组机器常数和/或与所述过程和/或设备相关的所关注的模型的方法;所述方法包括:获得与所述过程和/或设备相关的过程数据;获得一组优化范围,所述一组优化范围包括针对所述一组机器常数中的每个机器常数而校准的相应的优化范围;以及基于所述过程数据在所述一组优化范围内优化所述一组机器常数。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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