北京
国家知识产权局信息显示，国科光芯金杏（北京）实验室科技有限公司申请一项名为“一种波导芯片的制造方法”的专利，公开号CN121454688A，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本申请涉及半导体技术领域，公开了一种波导芯片的制造方法。制造方法包括以下步骤：提供铌酸锂晶圆；在铌酸锂晶圆距离表面一定深度处形成离子损伤层；离子损伤层与注入一侧表面之间的部分作为初始铌酸锂薄膜；提供中介结构，包括蓝宝石衬底和中介键合层；将初始铌酸锂薄膜一侧与中介键合层键合；退火剥离铌酸锂晶圆除初始铌酸锂薄膜以外的部分；切割为中介键合小片，中介键合小片上剩余的初始铌酸锂薄膜作为待键合的铌酸锂薄膜；将中介键合小片键合至已形成有波导结构的波导衬底上，铌酸锂薄膜朝向波导衬底，与波导结构形成电光调制结构；激光透射，之后剥离蓝宝石衬底。本申请可解决去除硅/二氧化硅层时易损伤铌酸锂薄膜的问题。
天眼查资料显示，国科光芯金杏（北京）实验室科技有限公司，成立于2021年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，国科光芯金杏（北京）实验室科技有限公司专利信息54条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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