国家知识产权局信息显示,国仪量子技术(合肥)股份有限公司申请一项名为“晶圆缺陷检测方法及存储介质、电子设备”的专利,公开号CN121453784A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆缺陷检测技术领域,公开了一种晶圆缺陷检测方法及存储介质、电子设备,晶圆缺陷检测方法包括:根据目标晶格的光学坐标,控制电子显微镜对晶圆中目标晶格进行定位扫描,得到所述目标晶格的电镜图像;利用预先训练好的ViT模型,对所述目标晶格的电镜图像进行缺陷检测,生成所述目标晶格的缺陷类型。该晶圆缺陷检测方法可根据目标晶格的光学坐标,控制电子显微镜扫描获取晶圆中目标晶格的电镜图像,实现目标晶格的高分辨率电镜图像的便捷控制采集,利用预先训练好的ViT模型对目标晶格的电镜图像进行缺陷检测,可实现目标晶格的精细缺陷分类。
天眼查资料显示,国仪量子技术(合肥)股份有限公司,成立于2016年,位于合肥市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本36000万人民币。通过天眼查大数据分析,国仪量子技术(合肥)股份有限公司共对外投资了14家企业,参与招投标项目730次,财产线索方面有商标信息91条,专利信息504条,此外企业还拥有行政许可9个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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