北京
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国家知识产权局信息显示，ASML荷兰有限公司申请一项名为“对象保持器、载物台、光学元件和控制表面平整度的方法、以及它们在光刻方法或装置中的用途”的专利，公开号CN121444017A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，提供了一种被配置为支撑对象的对象保持器，对象保持器包括具有多个支撑元件的支撑表面，该支撑元件包括金属－Si多层、金属－Ge多层以及/或者氮化铬层，以经由金属－Si多层、金属－Ge多层以及/或者氮化铬层的热处理来提供各个支撑元件的可选择性改变的高度。还提供了一种包括这样的对象保持器的载物台、一种用于控制包括这样的对象保持器的表面的平整度的装置、一种用于光刻装置的光学元件、一种用于控制表面的平整度的装置、一种包括这样的对象保持器的光刻装置或工具、一种控制表面的形状的方法、一种制造对象保持器的方法、一种校正对象保持器或光学元件的平整度的方法、以及这样的装置或方法在光刻装置或工艺中的用途。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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