北京
国家知识产权局信息显示，合肥伟进科技有限公司取得一项名为“一种半导体涂胶显影模组的烘干设备”的专利，授权公告号CN223847395U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种半导体涂胶显影模组的烘干设备，包括烘干柜，所述烘干柜的内部设置有底板，所述底板的顶部等距设置有滑轨，所述滑轨的顶部设置有滑块，所述滑块的顶部之间设置有安置盘，所述安置盘的顶部设置有半导体晶圆，所述烘干柜的内顶壁均等距设置有多个红外加热管，所述红外加热管之间均设置有多个温度传感器，所述烘干柜的前部均通过合页连接有箱门一与箱门二。本实用新型中，通过循环冷却系统高效回收溶剂，结合多级废气净化减少污染，滑轨与红外加热管实现晶圆均匀加热，适配不同规格晶圆，解决了现有技术中溶剂浪费、环保性能不足及加热不均的问题，提升了加工效率与设备稳定性。
天眼查资料显示，合肥伟进科技有限公司，成立于2023年，位于合肥市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1088万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥伟进科技有限公司参与招投标项目3次，专利信息2条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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