北京
国家知识产权局信息显示，希烽光电科技（南京）有限公司;NANO科技（北京）有限公司申请一项名为“一种硅光调制器制备方法及其硅光调制器”的专利，公开号CN121411008A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种硅光调制器制备方法及其硅光调制器，制备方法包括步骤，S1、制备光刻胶掩膜；S2、将III族元素离子注入形成p型主掺杂区；S3、热退火；S4、重新制备光刻胶掩膜；S5、V族元素离子注入形成n型主掺杂区；S6、刻蚀波导结构；S7、V族元素离子注入形成n型重掺杂区；III族元素离子注入形成p型重掺杂区；S8、沉积覆盖氧化硅层；S9、热退火；S10、制备金属电极。根据制备方法得到硅光调制器。本发明方法，在III族元素离子注入后增加一步离子热退火过程，进行V族元素离子注入，通过热退火过程中III族离子的扩散过程提高调制器平板区的离子浓度，降低调制器平板区的阻值，提升硅光调制器带宽的效果。
天眼查资料显示，希烽光电科技（南京）有限公司，成立于2018年，位于南京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1441.4848万美元。通过天眼查大数据分析，希烽光电科技（南京）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，专利信息98条，此外企业还拥有行政许可7个。
NANO科技（北京）有限公司，成立于2007年，位于北京市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本14578.66335万人民币。通过天眼查大数据分析，NANO科技（北京）有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息153条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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