北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“加热装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121419568A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种加热装置及半导体工艺设备，涉及半导体领域。一种加热装置，包括：壳体、第一加热组件、搅拌组件和循环组件；所述壳体具有用于接收工艺药液的进液口、输出所述工艺药液的出液口和用于回流所述工艺药液的回液口；所述第一加热组件设于所述壳体，用于加热所述壳体内的所述工艺药液；所述搅拌组件包括可运动的搅拌件，所述搅拌件设于所述壳体内，用于搅拌所述壳体内的所述工艺药液；所述循环组件的输入端与出液口连接，输出端与回液口连接；其中，在第一加热组件和循环组件均开启的情况下，搅拌组件关闭；在第一加热组件开启、循环组件关闭的情况下，搅拌组件开启。本申请至少能够解决药液加热不均匀等问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1364次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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