国家知识产权局信息显示,聚时科技(上海)有限公司申请一项名为“一种检测系统、方法、调试系统、方法及缺陷检测设备”的专利,公开号CN121384800A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本申请涉及半导体前道检测技术领域,为一种明场检测系统及方法,具体为一种检测系统、方法、调试系统、方法及缺陷检测设备。本申请实施例提供的技术方案中,通过产生具有特定相位差的干涉信号光,并基于干涉信号光所对应的光强信息实现对于待检测对象的缺陷检测,能够准确识别纳米级别的缺陷以及不同缺陷之间的折射率/反射率以及缺陷尺寸等细微信息。相较于现有技术的检测系统,具有更高的检测灵敏度和更加简洁的光路调节过程。
天眼查资料显示,聚时科技(上海)有限公司,成立于2018年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1594.3017万人民币。通过天眼查大数据分析,聚时科技(上海)有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息149条,专利信息297条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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