做马桶的TOTO，进军芯片行业，大挣

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不仅仅是英伟达和其他人工智能股票热潮中的巨头们感到财源滚滚。

以高科技智能马桶而闻名的日本卫浴制造商 Toto 的股价在1 月 2日收盘上涨近 10% ，这得益于该公司与半导体供应链之间出人意料的联系。

托托配备加热座圈和精准喷淋技术的豪华马桶在日本非常受欢迎，在国外也越来越受欢迎。

但该公司还利用其在陶瓷领域的专业知识，大规模生产用于制造人工智能系统以及无数其他电子产品的微芯片这一复杂过程中的组件。

这些组件包括所谓的“静电卡盘”，它可以将硅晶片牢固地固定到位，同时用微型晶体管进行蚀刻。

1月22日，Toto股价上涨9.7% ，亚洲芯片相关股票普遍上涨。

“随着对生成式人工智能的需求不断增长，存储这项技术所需数据的数据中心的需求也会增加。与此同时，我们预计对Toto静电吸盘的需求也会增长。”Toto表示。

Toto的静电吸盘正成为现代制造厂的关键部件

东陶（Toto）主要以其先进的马桶和卫生陶瓷而闻名。然而，该公司在陶瓷生产方面的专业技术同样可以应用于半导体制造领域。自20世纪80年代以来，东陶已使静电吸盘（电吸盘）成为现代半导体制造中不可或缺的工具。据《日经新闻》报道，预计2025年这些产品的营业利润将超过1亿美元。

在现代半导体制造中，静电吸盘（ESC）利用静电力而非机械夹紧或真空吸附方式，将硅晶圆（或其他衬底）牢固地固定到位。静电吸盘是芯片生产诸多环节的关键组件，包括极紫外光刻（EUV）、等离子刻蚀、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）以及其他需要精确晶圆定位和最大限度减少污染的工艺步骤。

虽然电子吸盘传统上用于化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD) 和等离子体刻蚀，但不适用于深紫外 (DUV) 光刻工艺，因为这些工艺是在常温常压或浸没液中进行的，因此晶圆下方的真空系统足以保持晶圆的平整度和位置。然而，极紫外 (EUV) 光刻工艺则有所不同。EUV 光刻采用极短的 13.5nm 波长，需要高真空环境以防止 EUV 光被吸收。因此，芯片制造商使用电子吸盘而非真空吸盘，因为电子吸盘在这种环境下更易于使用。此外，电子吸盘还能提供更均匀的夹紧力，降低应力，最大限度地减少变形，并改善套刻精度和关键尺寸 (CD) 控制。

晶圆加工和芯片制造需要超过4000道工序。近年来，极紫外光刻（EUV）工序的使用量不断增长，需要精确晶圆定位的工序也随之增加，因此电子卡盘（ESC）的使用量也随之上升，推动了东陶株式会社（Toto）的收入和利润增长。用于电子卡盘的陶瓷材料必须兼具强度和抗裂性。东陶株式会社凭借其在卫浴制造领域长期积累的成型和烧结技术，开发出了性能均匀的材料。然而，该领域的竞争日益激烈。在电子卡盘领域，东陶株式会社面临着新光电气工业株式会社（Shinko Electric Industries）和应用材料公司（Applied Materials）的挑战，后者与芯片设备制造商有着密切的联系。

为了巩固自身地位，东陶株式会社在制造业领域投入巨资。2020年，该公司斥资118亿日元在日本大分县兴建了一座陶瓷生产工厂。从2020年4月到2024年4月，其陶瓷生产员工人数增加了约20%。据公司总裁清田纪昭透露，公司也在考虑新建一座工厂。

东陶集团预计，其陶瓷业务部门在2024财年的营业利润将达到200亿日元（约合1.3亿美元），利润率接近40%。这远高于公司此前预测的7%的整体利润率。到2026财年，东陶的目标是将这一数字提升至250亿日元，并扩大产品范围。

Toto公司如今将目光投向晶圆加工以外的下游工序，例如切割和封装。报告指出，三维芯片堆叠需要新的基板技术，而陶瓷有望在这些工艺中发挥更加重要的作用。

“即使有起伏，半导体行业无疑仍将保持指数级增长，”东陶株式会社社长清田纪昭告诉《日经新闻》。

（来源：半导体行业观察综合）

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