北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“磁控装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121362948A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本申请公开一种磁控装置及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。磁控装置包括背板和多个磁组，多个磁组相配合以形成用于约束等离子体的运动方向的水平磁场，各磁组均包括电磁模块和永磁体，电磁模块和永磁体均设置于背板，电磁模块包括电磁线圈，电磁线圈环绕永磁体设置，通过调节电磁线圈的通电电流以调节磁控装置产生的磁场强度。半导体工艺设备包括上述的磁控装置。如此，电磁模块与永磁体相结合，能够提供较大且恒定的磁场，足以约束腔室本体内的等离子体的运动方向，且不会改变磁场分布情况，能有效调节靶材表面的磁场强度，使靶材表面的磁场强度恒定。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1358次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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