北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体工艺腔室及其开门装置”的专利，公开号CN121335466A，申请日期为2024年7月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺腔室及其开门装置。开门装置包括升降组件和传动组件；升降组件用于在晶圆传输装置经由半导体工艺腔室的传片口移入或移出半导体工艺腔室的过程中，与晶圆传输装置可相对移动地配合；传动组件的一端与升降组件连接，另一端用于与半导体工艺腔室的工艺门连接，传动组件用于将升降组件的动力传递至工艺门，以在晶圆传输装置移入半导体工艺腔室时使工艺门开启传片口，或者在晶圆传输装置移出半导体工艺腔室时使工艺门关闭传片口，以能够通过开门装置实现晶圆传输装置和工艺门的联动，避免由于工艺门和晶圆传输装置单独控制导致的时间损耗。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1353次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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