国家知识产权局信息显示,沐科恒益(江苏)电子制造有限责任公司申请一项名为“一种PVA滚刷的清洗方法”的专利,公开号CN121289151A,申请日期为2025年11月。
专利摘要显示,本发明属于晶圆制造技术领域,涉及一种PVA滚刷的清洗方法,包括依次进行的预清洗、多模块协同清洗和后处理;其中,所述多模块协同清洗包括依次进行的超声清洗、化学浸泡和喷淋冲洗,且所述喷淋冲洗的方式为水流从滚刷内杆向外冲洗。本发明提供的清洗方法适用于不同规格PVA滚刷,有效兼顾滚刷外部及内部清洁,显著提高了清洗效率,延长了滚刷寿命,充分满足了半导体工艺要求。
天眼查资料显示,沐科恒益(江苏)电子制造有限责任公司,成立于2025年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,沐科恒益(江苏)电子制造有限责任公司专利信息1条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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