国家知识产权局信息显示,吉林晶科晶锐新材料有限公司申请一项名为“一种微波等离子体金刚石膜沉积装置及工艺”的专利,公开号CN121295150A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种微波等离子体金刚石膜沉积装置,涉及金刚石膜沉积技术领域,包括工作台,所述工作台的表面设置有上下布置的等离子体放电室和工作室,所述工作室的内部横向布置有样品台,所述样品台的表面处设置有样品升降组件,所述样品升降组件包括固定套;本发明的放置板靠近等离子体放电室处会使得高能离子轰击能快速达到放置板表面,成核率显著提高,适合制备超薄、致密的金刚石膜,确保放置板的高度不会发生变化的同时可以精确控制放置板的高度,可以控制各个调整板发生变化,各个调整板可以改变放置板露出的面积,等离子体覆盖在基板的面积可以根据需要调整,从而基板金刚石膜符合要求。
天眼查资料显示,吉林晶科晶锐新材料有限公司,成立于2025年,位于长春市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,吉林晶科晶锐新材料有限公司专利信息4条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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