北京
国家知识产权局信息显示，深圳市科瑞技术科技有限公司取得一项名为“温控卡盘”的专利，授权公告号CN223786448U，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别公开了一种温控卡盘，该温控卡盘包括壳体、传器件及多个导热座，该温控卡盘对晶圆进行冷却时，首先外部压缩冷空气通过进气口和第二传气腔之间的进气管路进入第二传气腔，压缩冷空气进入第二传气腔之后通过多个进气流道进行分流流入至各个导热座的导热腔，并快速地将导热腔内的热量进行吸收，进而降低了上方置物盘上的晶圆的温度，最后完成吸收热量的压缩冷空气再通过多个出气流道汇集至第一传气座的第一传气腔，最后通过出气管路和出气口排出，实现对卡盘的内腔快速冷却。
天眼查资料显示，深圳市科瑞技术科技有限公司，成立于1996年，位于深圳市，是一家以从事房地产业为主的企业。企业注册资本38500万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市科瑞技术科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息78条，此外企业还拥有行政许可42个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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