北京
国家知识产权局信息显示，迈睿捷（南京）半导体科技有限公司申请一项名为“一种带循环保温水的均流显影液喷嘴装置”的专利，公开号CN121069714A，申请日期为2025年10月。专利摘要显示，本发明涉及半导体制造设备技术领域，解决了传统显影液喷嘴存在温度控制不足、流量均匀性差以及维护成本高缺陷的技术问题，尤其涉及一种带循环保温水的均流显影液喷嘴装置，包括用以隔离保温水和显影液并形成相互独立流通的流道，在保温水循环流通过程中补偿显影液的温度并维持在预设范围内的保温水套夹层组件；喷嘴主体组件用以将显影液由单孔流通的流道扩展为水平空间形成均流的多流道，并在压力的作用下经喷嘴喷出。本发明采用循环保温水套管和温控器的实时控制，使显影液温度波动控制在±0.1℃以内，使各喷孔出液量偏差≤±2%，提升显影液对于大尺寸圆晶的覆盖率，并且采用模块化设计，可通过快拆结构单独拆卸清洗缩减维护时长。
天眼查资料显示，迈睿捷（南京）半导体科技有限公司，成立于2022年，位于南京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2785.991万人民币。通过天眼查大数据分析，迈睿捷（南京）半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息7条，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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