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国家知识产权局信息显示，微程式资讯股份有限公司申请一项名为“光罩感测总成的控制界面”的专利，公开号CN121050185A，申请日期为2024年5月。专利摘要显示，本发明提供了一种光罩感测总成的控制界面，包含有：一光罩形感测模块与一盒体。该光罩形感测模块具有一传感器与一储存器。该传感器用以感测该主体在模拟微影制程过程中的环境信息，并据以产生一侦测讯号，并储存于该储存器中；该盒体系供该光罩形感测模块放置，具有一盒体处理器以及复数个控制键与复数个指示器。操作该等控制键可产生预定的指令，再将该指令以无线的方式传送至该光罩形感测模块，以执行该指令。在执行该指令后，该光罩形感测模块产生一状态讯号传送至该盒体处理器，据以使该等指示器产生特定的讯息。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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