话说芯片这行当,几年下来就没消停过,尤其是光刻机这块核心设备,成了中美欧拉锯战的焦点。2025年10月,长江存储突然对外放话,要ASML把卖给中国企业的那些深紫外DUV光刻机全给回购了,不然就走专利纠纷的路子。
ASML这家荷兰巨头,本来靠着技术垄断吃得香,现在夹在出口管制和市场损失中间,日子不好过。中国企业这步棋走得稳,抓住了合同里的售后条款,逼着对方表态。
整个事件从2022年EUV禁售开始,一步步走到今天,牵扯的金额上百亿欧元,影响的不光是设备供应,还波及全球半导体供应链。
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芯片制造这事儿,说白了就靠光刻机来刻蚀电路图案,ASML在DUV和EUV领域几乎一家独大。中国企业像中芯国际和长江存储,早几年砸重金进口这些设备,累计引进上千台,价值好几十亿欧元。
可从2022年10月,美国商务部直接扔出禁令,把EUV光刻机对华出口卡死,这玩意儿能搞3纳米以下的尖端芯片,一下子断了高端货源。
中国只能退而求其次,死磕DUV来支撑28纳米甚至7纳米的多重图案化工艺。
2023年9月1日,荷兰政府跟着美国步调,对高端DUV实施逐案审批,ASML的NXT:2050i和NXT:2100i这些主力型号,直接进了审查名单。
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转眼到2023年10月,美国又加码,扩展禁令覆盖24类半导体工具,包括中端DUV的软件升级和服务。这下子不光新机难进,旧机的维护也跟着遭殃。
ASML的中国市场销售额本来占公司总收入近30%,2022年就高达49亿欧元,可2023年第四季度,对华出货量从每月20台滑到17台,中芯国际上海张江厂的产能利用率从85%掉到72%,每月少产2000万片晶圆。
这损失可不是小数目,每台DUV停摆一周就得亏500万元,全年加起来超10亿元。2024年1月2日,荷兰干脆撤了部分DUV出口许可,影响的订单总值5亿欧元,那些设备卡在鹿特丹港出不来,本来是中芯28纳米产线的救命稻草,现在全黄了。
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美国还不罢休,3月28日又禁了DUV的软件更新,一季度进口额从28亿欧元降到22亿,同比亏22%。ASML的中国订单从150亿欧元缩水到120亿,股价在那段时间崩了3.2%,市值蒸发80亿欧元。公司不得不裁员,在华员工从1500人减到1200人,维护合同到期全给遣了。
荷兰政府2024年底不续顶级DUV服务许可,这等于把售后大门彻底关上。
中芯联席CEO梁孟松3月21日公开点名,说ASML合同里明写供应商得提供10年备件和维护,不然买方有权回购退货。
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话说这管制越收越紧,中国芯片厂的日子越发难熬。长江存储这些企业,本来靠DUV吃饭,现在设备老化、故障频发,自建维修队能搞定80%的光学校准和真空腔体问题,但激光镜片这种核心部件,规格缺口大,成本高出40%。
二手市场倒是热闹,中国企业从全球淘旧机,花了380亿美元,可美国国会7月报告一出,又呼吁禁浸没式DUV出口,搞得人心惶惶。
2025年1月17日,荷兰勉强豁免部分双重用途出口,但高端DUV还是逐案审批,3月28日特朗普上台,黑名单又加了中芯供应商。
这链条一勒,中国企业不光产能受挫,成本也水涨船高,上海微电子的国产DUV原型虽出来了,但良率才80%,离规模化还差一截。
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整个过程,ASML表面上说遵守管制,实际财务报表里中国业务占比从30%降到20%,上半年DUV需求勉强撑了5.1亿欧元,可长远看,市场份额丢了想捡都难。
忍了两年多,中国企业终于憋不住了,长江存储带头发公告,要求ASML原价回购上千台DUV光刻机,涉及金额超数百亿欧元,还得赔运营成本。
当初买这些机器,不光是铁疙瘩,还包括终身专利授权,维修零件和售后服务是合同核心。ASML因为管制停了服务,等于是自己毁约,中国最高人民法院的专利解释里写得清清楚楚,授权得讲公平履行义务,不然侵权纠纷随时上法庭。
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长江存储的公告直指NXT:2050i和NXT:2100i这些型号,总引进超1400台,2023年上半年进口额就超50亿美元。现在设备坏了没人管,生产线停摆,证据链条从采购单到故障日志,全是铁证。梁孟松早说过,中芯保有950多台DUV,不维护就废,潜在损失上百亿。
中企这回购要求,抓的就是这个痛点:要么你恢复零件供应,履行约定;要么掏钱回购,物流额外成本还得多20%。
ASML内部文件显示,他们拨了1亿欧元组建法律团队,探索合规路径,可这笔回购钱砸下去,现金流得紧巴巴。中国商务部9月2日也表态,若ASML继续配合限制,就限其市场准入,这等于给回购加了把火。
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上海微电子的SSA800 DUV原型已投深圳7纳米试水,浸没式良率80%,售价是ASML一半。南大光电的28纳米ArF光刻胶拿下百吨级订单,冲击日本信越化学的市场。
华为关联的上海宇量昇拆解老DUV,改进冷却管路和光路结构,损毁的激光模块虽值50万美元,但技术消化了。
话说ASML的专利帝国,本来是硬通货,2017年它还联手卡尔蔡司告尼康,耗两年和解,交叉许可稳了壁垒。可现在面对中国集体行动,难度翻倍。
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ASML保持沉默,董事会评估风险,市场份额从29%降20%,AI需求填坑有限。外媒共识,这波专利战,让ASML的王冠松动,中国企业用商业反击,争回主动。
中国企业这回不光要回购,还加速本土化,长江存储和中芯自训维修队,处理80%故障,成本虽高,但独立了。
上海微电子28纳米DUV量产,良率95%,南大光电光刻胶批量订单,华为海思和兆芯用上自家技术,减少依赖。
话说这突围路长,EUV还差火候,但DUV逆向消化了,冷却和光路优化,拆解虽损模块,但值。商务部控稀土,卡ASML供应链,平衡了博弈。
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2025年7月美国报告二手市场,禁浸没式出口,可中国已淘380亿刀设备,够用一阵。
特朗普黑名单加码,中芯供应商遭殃,但本土原型投产,深圳7nm试水稳。ASML在华减员,维护全停,中国转向,产能回升。
整个事件,芯片自立不是一蹴而就,但回购逼了ASML让步,专利纠纷若开打,全球格局变。
参考资料
ASML荷兰有限公司取得确定光刻匹配性能专利 金融界
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