恒运昌冲刺科创板：破局瓶颈制约难题，射频电源国产替代领军者显锋芒

近日，国内半导体设备核心零部件领域的领军企业——深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）科创板IPO申请已进入上会阶段，将于11月14日接受上交所科创板上市审核，引发市场广泛关注。作为国内极少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业，恒运昌的成功上市，将有望为国产半导体产业链的自主可控与安全稳定注入强劲动能。

技术破局，打破海外数十年垄断

半导体制造被誉为工业皇冠上的明珠，而等离子体射频电源系统则是这颗明珠制造过程中不可或缺的“指挥家”。它通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积薄膜、精细刻蚀图形。然而，这一关键零部件长期被美国MKS和AE等海外巨头垄断，根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%，是瓶颈制约最严重的环节之一。

恒运昌自成立以来，便聚焦于这一技术壁垒极高的领域攻坚克难。历经十年磨砺，公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了海外巨头长达数十年的垄断格局。其中，自主研发的第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列更可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补了国内空白。

深度链接头部客户，量产能力获验证

半导体零部件行业具有“精确复制”的严苛要求，以确保晶圆厂产能扩张下的芯片品质保持一致。恒运昌凭借过硬的产品性能和质量，已具备成熟的规模化量产能力。报告期内，公司产品已稳定批量交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为其在薄膜沉积、刻蚀环节的战略级供应商。截至2025年6月30日，公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品达38款，千万级收入的自研产品达24款，充分证明了其产品的市场认可度和商业价值。

扛起产业重任，保障产业链安全

恒运昌的崛起，对保障我国半导体产业链供应链安全具有深远意义。受国际地缘政治形势影响，国内主要晶圆厂被列入实体清单后，无法向原海外供应商采购备件或申请维修。恒运昌承接了中芯国际等晶圆厂进口等离子体射频电源系统的原位替换及维修任务，有力保障了国内晶圆产线的持续稳定运行。

同时，公司积极参与国家半导体产业的基础再造和重大技术装备攻关任务，先后承接3项国家级重大专项课题。通过持续的技术创新和供应链的国产化推进，恒运昌正从上游核心零部件环节，助力提升我国半导体产业的整体韧性和安全水平。

恒运昌科创板上市，不仅是企业发展的里程碑，更是中国半导体产业链攻坚克难、迈向自主可控的生动缩影。随着募投项目的推进，恒运昌将进一步扩大产能、加强研发，巩固其在国产射频电源领域的龙头地位，为中国半导体事业的崛起贡献更多“恒运昌力量”。